一、儀器規(guī)格參數(shù)
30mm高分辨率激光干涉儀（型號(hào)G30HD）為多攝像孔檢測(cè)而定制，具備大視場(chǎng)、高分辨率的性能。可以同時(shí)完成雙孔、三孔或四孔的透過波前檢測(cè)。
儀器規(guī)格參數(shù)表
硬件部分：
| 產(chǎn)品型號(hào) | G30HD |
| 產(chǎn)品名稱 | 30mm高分辨率激光干涉儀 |
| 測(cè)試口徑 | 30mm*25mm |
| 標(biāo)準(zhǔn)鏡面形精度 | λ/20 |
| 光源 | 進(jìn)口He-Ne激光器（632.8nm) |
| 可同步測(cè)量孔數(shù) | 4孔 |
| 電源 | AC220V50HZ |
| 標(biāo)配配件 | 氣浮減震平臺(tái) |
軟件部分：
| 軟件名稱 | 移相算法（簡(jiǎn)稱PH） |
| 分析項(xiàng)目 | 透過波前PV值、power值、平行度Tilt值、ttv值、條紋數(shù)等 |
| 測(cè)試重復(fù)性 | PV：0.01λ RMS:0.003λ |
| 測(cè)試允許誤差 | PV<1λ時(shí) PV：0.05λ Tilt：0.2fr（零場(chǎng)調(diào)整為1根條紋） 1λ<PV<2λ時(shí) PV：0.1λ Tilt：0.5fr（零場(chǎng)調(diào)整為1根條紋） |
| 測(cè)試時(shí)間 | 1.5秒 |
二、儀器特點(diǎn)
1、可同步測(cè)量四攝像孔
雙攝、三攝甚至四攝逐漸成為手機(jī)攝像的標(biāo)配，傳統(tǒng)的小視場(chǎng)干涉儀每次只能測(cè)量一個(gè)攝像孔，效率低下；而大視場(chǎng)干涉儀雖然可以顯示多個(gè)攝像孔，但分辨率不足，不能勝任大像差攝像孔的測(cè)量。
G30HD便針對(duì)該特殊需求而設(shè)計(jì)，可以同時(shí)滿足最多四攝像孔的同步測(cè)量。
儀器可同步測(cè)量四攝像孔的PV、power、條紋數(shù)等數(shù)值，并同步給出OK/NG的總體評(píng)價(jià)：
2、可滿足大像差攝像孔的測(cè)量
在具備大視場(chǎng)的同時(shí)，儀器具備足夠高的分辨率。下表為G30HD與G10可準(zhǔn)確測(cè)量的像差對(duì)比：
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| G30HD | G10U-PH |
| 3mm口徑（前置攝像孔典型值） | 條紋數(shù) | 30fr | 20fr |
| PV（背景零場(chǎng)測(cè)試值） | 1.5λ | 1λ | |
| 6mm口徑(后置攝像孔典型值) | 條紋數(shù) | 60fr | 40fr |
| PV（背景零場(chǎng)測(cè)試值） | 3λ | 2λ |
注：PV（背景零場(chǎng)測(cè)試值）為背景調(diào)整為零條紋時(shí)，直接測(cè)量所得的PV值。
G30HD足夠勝任后置攝像孔與2.5D前置攝像孔的測(cè)量。
3、光源為進(jìn)口He-Ne激光器（波長(zhǎng)632.8nm）
He-Ne激光器相比半導(dǎo)體激光相比有如下優(yōu)點(diǎn)：相干性穩(wěn)定、優(yōu)良，干涉圖的對(duì)比度及清晰度更高，且壽命很長(zhǎng)（一般可達(dá)到2萬(wàn)小時(shí)以上）。半導(dǎo)體激光器隨溫度變化產(chǎn)生的溫飄會(huì)使干涉條紋的對(duì)比度、清晰度周期性變差，對(duì)數(shù)字化測(cè)量有很大影響；且壽命較短，易被靜電損傷。
4、標(biāo)配氣浮減震平臺(tái)
儀器標(biāo)配氣浮減震平臺(tái)，即使在環(huán)境惡劣的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)亦可以保證穩(wěn)定、可靠的測(cè)試。
5、后續(xù)可升級(jí)自動(dòng)化測(cè)試方案
儀器可通過串口與自動(dòng)化設(shè)備進(jìn)行通訊。且進(jìn)口He-Ne激光器與氣浮減震平臺(tái)的使用，使儀器可以在無(wú)人干預(yù)的情況下，保證穩(wěn)定、可靠的測(cè)試，后續(xù)可升級(jí)自動(dòng)化測(cè)試。
