低溫等離子廢氣凈化器體降解污染物是運用電子、基等活性粒子與廢氣中的污染物效果，使污染物分子在極短的時間內發作分化，并發作后續的各種反響以到達降解污染物的意圖。該技能可以使用于污水處理廠、石油化工、制藥、污水處理、涂料、皮革加工、感光資料、汽車制作、食物加工廠、印染廠、廢物處理廠、公廁、屠宰場、牲畜飼養場、魚類加工廠、飼料加工廠等許多可以發作惡臭異味的場所。

低溫等離子廢氣凈化器在廢氣處理中的使用跟著工業經濟的開展，石油、制藥，油漆、印刷和涂料等職業發生的揮發性廢氣也日漸增多，這些廢氣不只會在大氣中逗留較長的時刻，還會擴散和漂移到較遠的當地，給環境帶來嚴峻的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康發生的損害；別的工業煙氣的無控制排放使大氣環境日益惡化，酸雨(要來源于工業排放的硫氧化物和氮氧化物)的損害引起了各國的重視。由于大氣受污染而酸化，導致了生態環境的破壞，重大災難頻繁發生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。降解揮發性污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優勢。

低溫等離子廢氣凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1)電場+電子→電子

(2)電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

(3)活性基團+分子(原子)→生成物+熱

(4)活性基團+活性基團→生成物+熱

從以上過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。