電控三維位移臺3D/4D-stage是專業為激光光學安裝固定設計的電控XYZ位移臺,并且可在三軸位移臺基礎上加上旋轉臺組成四軸位移臺功能。
電控三維位移臺采用三個電控直線線性位移臺組成,可以增選一個電控旋轉臺用于θ軸旋轉。三維位移臺組成XYZ維的位移,可提供行程距離有25mm、100mm或200mm,每個軸可以獨立選擇。

圖1：電控三維位移臺實物圖3D-stage
三個XYZ三維線性位移臺采用閉環直流伺服電機,交叉滾筒軸承,高精度絲桿和高分辨率定位反饋編碼器控制,從而保證了位移臺平滑和精確的運動。與其它工作臺一樣，這些電控三維位移臺可以極慢的速度均勻移動，電控三維位移臺提供各種速度/精度選項,也可訂制3D/4D位移臺系統,通常通過一個適配板把各個位移臺組裝在一起。
電控三維位移臺可以使用各種各樣的控制器，這些控制器和工作臺可以相互兼容,推薦使用自由的MS2000位移控制器，可自動糾偏，并可通過RS-232或USB連接與上機位進行通訊。
電控三維位移臺參數

技術參數	尺寸
編碼器分辨率*	5.5 nm
線性編碼器	10 nm
RMS重復精度（典型）	< 0.7 μm
采用線性編碼器重復精度（典型）	200 nm
絲桿精度	0.25 μm/mm
采用線性編碼器后的絲杠精度	± 3 μm/length scale
速度*	1.75 mm/sec
行程范圍	25~100mm

*注：采用1.59 mm螺距的絲杠（16TPL）
電控三維位移臺絲杠附件

絲桿螺距選擇	旋轉編碼器分辨率	速度
25.40 mm (極粗)	88 nm	28 mm/sec
12.70 mm (超粗)	44 nm	14mm/sec
6.35 mm (標準)	22 nm	7 mm/sec
1.59 mm (細)	5.5 nm	1.75mm/sec
0.635 mm (極細)	2.2 nm	0.7mm/sec

注：采用旋轉編碼器和6.35毫米螺距絲桿

圖2：電動四維位移臺4D-stage俯視圖（由XYZ三維位移臺+旋轉臺構成）