日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器適用于過程控制中在線實(shí)時(shí)的氣體流量的準(zhǔn)確測(cè)量和控制。
日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
S500熱式質(zhì)量流量控制器能夠在較大的量程范圍內(nèi)在線實(shí)時(shí)地準(zhǔn)確控制氣流質(zhì)量流量。利用氣流流過不銹鋼毛細(xì)管，改變毛細(xì)管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測(cè)得氣體質(zhì)量流量;不同于測(cè)壓力或測(cè)體積方法等類別流量計(jì)，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。上下游溫差測(cè)量電路信號(hào)實(shí)時(shí)反映氣流瞬時(shí)流量，并通過PID電路實(shí)時(shí)控制比例電磁閥而準(zhǔn)確控制流量，所以特別適用于過程控制中在線實(shí)時(shí)的氣體流量的準(zhǔn)確測(cè)量和控制。
S500系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。
日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)：
具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小等特點(diǎn)。
耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。
閥體采用不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。線路板、閥體、彈簧片、精致電阻和電容等為重要零部件，均執(zhí)行嚴(yán)格的入廠標(biāo)準(zhǔn)。
可任意角度安裝。
電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合工作。
日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：
項(xiàng)目 | S500 (規(guī)格Type AR111) |
外部密封 | 氟橡膠 |
接觸氣體材料 | SUS316L,氟橡膠,磁性不銹鋼 |
調(diào)節(jié)閥類型 | 非通電時(shí)常閉 |
滿量程流量(N2換算流量) | 10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min |
流量控制范圍 | 2%～99%F.S. (0.1～5V DC) |
流量測(cè)量范圍 | 0～99%F.S. (0～5V DC) |
響應(yīng)時(shí)間（輸出電壓） | 1秒 (保證 1.5秒以內(nèi)T98) |
工作環(huán)境溫度 | 5～45℃ (精度保證 15～35℃) |
流量精度 | ±1.0%F.S |
線性 | ±0.5%F.S. |
重復(fù)性 | ±0.2%F.S. |
工作壓差 | 10mL/min～5L/min :50～300kPa(d) |
很大工作（使用）壓力 | 300kPa(G) |
耐壓 | 3MPa(G) |
泄漏率 | 1×10-8Pa?1?1m3/s(He)以下 |
流量設(shè)定信號(hào) | 0.1～5VDC(2%～99%F.S.) |
流量輸出信號(hào) | 0～5VDC(0%～99%F.S.) |
供電電源 | +15V±5% 100mA以下 |
管路接頭 | 1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR |
安裝角度 | 任意 |
電氣接頭 | D-Sub 15pin |
輸入輸出阻抗 | 輸入：1MΩ以上 輸出：3mA以下 |
附加功能 | Auto-zero、Auto-close |
滿量程流量50mL/min一下的響應(yīng)時(shí)間為2S以內(nèi)
