無塵車間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。
無塵車間也叫潔凈凈化廠房、潔凈室、無塵室等。世煦無塵車間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。就是不論外在的空氣條件如何變化，在潔凈室內都能保持之前設定的要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
| 等級 | 每立方米（升）空氣中》0.5μm塵粒數 | 每立方米（升）空氣中》5μm塵粒數 |
| 100 | 《35*100（〈3.5〉 |
|
| 1000 | 《35*1000（〈35〉 | 《250（〈0.25〉 |
| 10000 | 《35*10000（〈350〉 | 《2500（〈2.5〉 |
| 100000 | 《35*100000（〈3500〉 | 《25000（〈25〉 |
| 等級名稱 | 等級限值 |
| |||||||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 5μm |
| ||||||
| 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 |
| ||||||
| 國際單位 | 英制 單位 | m | Ft | m | Ft | m | Ft | m | Ft | m | Ft |
| M1.0 |
| 350 | 9.91 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10 | 0.283 | / | / |
| M1.5 | 1 | 1240 | 35.0 | 265.0 | 7.5 | 106 | 3 | 35.3 | 1 | / | / |
| M2.0 |
| 3500 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | / | / |
| M2.5 | 10 | 12400 | 350.0 | 2650 | 75 | 1060 | 30 | 353 | 10 | / | / |
| M3.0 |
| 35000 | 991.0 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | / | / |
| M3.5 | 100 | / | / | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | / | / |
| M4.0 |
| / | / | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | / | / |
| M4.5 | 1000 | / | / | / | / | / | / | 35300 | 1000 | 247 | 7 |
| M5.0 |
| / | / | / | / | / | / | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 |
| M5.5 | 10000 | / | / | / | / | / | / | 353000 | 10000 | 2470 | 70 |
| M6.0 |
| / | / | / | / | / | / | 1000000 | 28300 | 6180 | 175 |
| M6.5 | 100000 | / | / | / | / | / | / | 3530000 | 100000 | 24700 | 700 |
| M7.0 |
| / | / | / | / | / | / |
| 283000 | 61800 | 1750 |
