探針測量技術的一個優點是它是一種直接測量，與材料特性無關。 可調節的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行精確測量。 通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結構的任何變化。
主要技術參數
-
1.臺階高度：幾納米至1200μm
-
2.低觸力：0.03至15mg
-
3.視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭
-
4.梯形失真校正：消除側視光學系統引起的失真
-
5.圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
-
6.緊湊尺寸：最小占地面積的臺式探針式輪廓儀
-
7.軟件：用戶友好的軟件界面
主要應用
-
1.臺階高度：2D臺階高度
-
2.紋理：2D粗糙度和波紋度
-
3.形式：2D翹曲和形狀
-
4.應力：2D薄膜應力
應用領域
-
1.大學，研究實驗室和研究所
-
2.半導體和復合半導體
-
3.SIMS：二次離子質譜
-
4.LED：發光二極管
-
5.太陽能
-
6.MEMS：微電子機械系統
-
7.汽車
-
8.醫療設備
實例展示
臺階高度
紋理：粗糙度和波紋度
形式：翹曲和形狀
應力：2D薄膜應力
Alpha-Step D-500能夠測量在生產包含多個工藝層的半導體或化合物半導體器件期間所產生的應力。 使用應力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。 然后通過應用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應力。
- Alpha-Step D-500 Stylus Profiler 選項可供選擇，配合您的新產品，或后續使用。
探針選項
Alpha-Step D-500有多種探針可用于支持臺階高度、高縱橫比步長、粗糙度、樣品翹曲和應力的測量。 探針半徑范圍從100nm到50μm，并決定了測量的橫向分辨率。 夾角范圍為20到100度，決定了測量特征的縱橫比。 所有探針均采用金剛石制造，以減少磨損并延長探針的使用壽命。
樣品卡盤
Alpha-Step D-500具有一系列可用于支持應用要求的卡盤。 標準卡盤為鍍鎳鋁卡盤，可以處理至140mm的樣品。 一個扁平的黑色卡盤可用于透明樣品，限度地減少卡盤表面的反光。 并且提供通用的真空卡盤并包括用于50mm至125mm樣品的精密定位銷。 標準和通用卡盤均支持應力測量，并使用3點定位器將樣品保持在中性位置，進行精確的翹曲度測量。
隔離工作臺
Alpha-Step D-500具有桌面和獨立隔離臺選項。 Granite Isolator™系列提供桌面隔離系統，將花崗巖與高級硅凝膠結合在一起，提供被動隔離。 Onyz系列桌面隔離系統使用氣動空氣隔離裝置來提供被動隔離。 TMC 63-500系列隔離臺是一個獨立的鋼架工作臺，使用氣動空氣隔離裝置提供被動隔離。
臺階高度標準
Alpha-Step D-500采用VLSI標準提供的薄膜和厚膜NIST可追蹤臺階高度標準。 該標準提供安裝在石英塊上的硅芯片上的氧化物臺階功能。臺階高度的測量范圍是8nm至250μm。
Apex分析軟件
Apex分析軟件通過水平、過濾、臺階高度、粗糙度和表面形貌分析技術的擴展套件，增強了D-500的標準數據分析能力。 Apex支持ISO粗糙度計算方法以及例如ASME的本地標準。 Apex還可用作報告編寫平臺，具有添加文本、注釋和是/否合格的功能。 Apex有八種語言的版本。
離線分析軟件
Alpha-Step D-500離線軟件具有與設備軟件相同的數據分析功能。 這使用戶無需使用寶貴的設備時間即可進行數據分析。
