如圖所示，螺桿真空泵內裝有一對平行的螺旋狀的轉子，兩個轉子的泵體內通過一對精密齒輪保持同步反向旋轉。轉子與轉子之間，轉子與泵體之間又有摩擦且保持一定的間隙，兩個轉子與泵體之間形成了多個密封腔，密封腔的個數等于轉子的螺旋圈數。
兩個轉子在按圖中方向旋轉時，與吸氣口相連的密封腔的空間逐漸增大，氣體被吸收并被傳送到排氣側，排氣側的密封腔空間在旋轉過程中逐漸變小，氣體被壓縮到排氣口.這些密封腔有規律的從泵的進氣口側往排氣口側"移動"，這樣氣體就以旋流的方式
運送出去。泵的持續運動不改變氣體流動方向，這樣就可以在一定范圍內將氣體夾帶的微粒以蒸汽抽送出去。
長時間運轉時需向泵體及側蓋的夾套內通入適量的冷卻液以對泵進行冷卻，以實現溫度的均衡，因壓縮熱主要在排氣側6,為了充分冷卻轉子，在多數情況下可以將適量的空氣或其他合適的氣體通過滲氣口導入泵腔內。
機組定制
機組附件齊全，可根據客戶不同的工況提供特殊的機組配置來滿足客戶的要求。
低振動低矂音
螺桿轉子的整體設計經過高精度動平衡處理，通過精密同步斜齒輪，可高速運轉，工作平穩，有效降低運行過程中產生的振動和噪音。
優化設計
螺桿轉子采用德國五軸聯動復合加工中心精密加工而成，與泵腔之間無金屬接觸，無磨損確保真空泵的使用壽命和真空度。
潔凈環保
與滑閥泵、旋片油泵、水環泵相比，螺桿真空泵泵腔內只有制程氣體，可充分回收有機溶劑。
工作過程中無廢水廢油產生，節能環保，同時避免了水溫對真空度的影響。
制程處理能力
螺桿泵泵腔設計有自動冷卻吹掃裝置，可抽含有微量粉塵及可凝性氣體。
防腐設計
工作腔及螺桿表面有防腐涂層，可適應多種工況。
標準涂層：
泵體：HT300, (PTFE+PFA)轉子：QT800(PTFE + PFA)。
特殊涂層：
鍍鎳；鍍鉻；鍍鎳+PFA ;納米陶瓷；噴涂哈氏合金；不銹鋼等。
密封
進氣端：雙聯唇封
排氣端：雙聯唇封+機械密封+氮氣密封
出軸端：油封
密封圈：可選全氟謎橡膠。
適用真空范圍廣
單臺泵可連續直排大氣，從大氣抽至5pa的高真空，極大的簡化真空系統。
可與羅茨泵分子泵擴散泵組成機組，滿足各種工況對真空度和抽速的要求。
技術參數
