勻膠機有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機,總的來說,他們原理都是一樣的,既在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
勻膠機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。勻膠機可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用。
由我司提供的勻膠機,在高校、研究所及半導體產業享有很高的聲譽,相信能滿足您多種不同應用要求。
型號:SPIN-4000A
廠家鏈接:.cn/
SPIN-4000A
觸摸屏控制,可編程配方管理,操作簡單,采用排液、排液孔、分液器
?勻膠機
?基板尺寸:6~12英寸
?轉速:300~5000 rpm(空載時),誤差小于3%
?菜單程序:20步,20個配方
?卡盤材料:陽極氧化鋁、縮醛
?碗尺寸:18英寸
?碗材料:不銹鋼
?自動注射功能:選配