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環(huán)保APP正式上線

HMDS真空烘箱(HMDS預(yù)處

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱蘇州伊諾華科工業(yè)設(shè)備有限公司(總部)
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/1/21 8:43:27
  • 訪問次數(shù)1005
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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蘇州伊諾華科工業(yè)設(shè)備有限公司(SuZhou Enohk Industrial Equipment Co., Ltd.)致力于工業(yè)電子防潮控濕控溫等環(huán)境試驗(yàn)箱的產(chǎn)品研發(fā)設(shè)計(jì),生產(chǎn),銷售與服務(wù)于一體的專業(yè)生產(chǎn)廠家。憑借*的研發(fā)技術(shù)與生產(chǎn)工藝,優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和高效的售后服務(wù),贏得業(yè)內(nèi)眾多用戶好評(píng),產(chǎn)品遠(yuǎn)銷日本,歐美。東南亞等十幾個(gè)國(guó)家和地區(qū),已成為業(yè)內(nèi)影響力的環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備生產(chǎn)商和服務(wù)商之一。公司本著“誠(chéng)信為本,客戶滿意”的經(jīng)營(yíng)宗旨,“以質(zhì)量求生存,以創(chuàng)新求發(fā)展”的經(jīng)營(yíng)理念,不斷進(jìn)行產(chǎn)品技術(shù)創(chuàng)新和提高產(chǎn)品質(zhì)量,吸納國(guó)外科學(xué)的生產(chǎn)管理技術(shù)和經(jīng)驗(yàn),完善售后服務(wù)體系,以高質(zhì)量、高效率、高標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品和服務(wù)來滿足客戶需求。公司主營(yíng)產(chǎn)品:電子防潮箱、干燥箱、氮?dú)夤瘛⒐I(yè)熱風(fēng)循環(huán)烘箱、精密烘箱、真空烘箱、CLASS100潔凈烘箱、高溫烘箱、無氧烘箱、隧道流水線烘箱、大型烘箱、UV固化機(jī),恒溫恒濕試驗(yàn)箱等控溫控濕設(shè)備以及相關(guān)備件和耗材,并提供設(shè)備訂制服務(wù)。
EHZ-HMDS-90系列電腦式HMDS真空烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前預(yù)處理,增黏劑HMDS涂覆作業(yè)。本設(shè)備適用于在涂膠前對(duì)晶片進(jìn)行預(yù)處理,集真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液多功能與一體。設(shè)備由箱體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成。通過多次預(yù)抽真空,充氮加熱循環(huán)進(jìn)行,既能達(dá)到使硅片表面干燥、潔凈的效果,又能夠有效的防止硅片的氧化和雜質(zhì)的擴(kuò)散,并且可以通過加液系統(tǒng)在硅片表面......
HMDS真空烘箱(HMDS預(yù)處 產(chǎn)品信息

EHZ-HMDS-90真空烘箱介紹

----半導(dǎo)體光電行業(yè)專用HMDS預(yù)處理真空烘箱

一、技術(shù)參數(shù):

名稱:HMDS電腦式真空烘箱

型號(hào):EHZ-HMDS-90

真空度:<133pa

溫度范圍:50~250℃

溫度分辨率:±0.1℃

控制方式:PLC+觸摸屏(人機(jī)交互界面)

內(nèi)部尺寸:W450mm*D450mm*H450mm(可根據(jù)客戶要求訂制)

電源:AC220V 50HZ

功率:2.1KW

二、應(yīng)用領(lǐng)域與用途:

EHZ-HMDS-90系列電腦式HMDS真空烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前預(yù)處理,增黏劑HMDS涂覆作業(yè)。本設(shè)備適用于在涂膠前對(duì)晶片進(jìn)行預(yù)處理,集真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液多功能與一體。設(shè)備由箱體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成。通過多次預(yù)抽真空,充氮加熱循環(huán)進(jìn)行,既能達(dá)到使硅片表面干燥、潔凈的效果,又能夠有效的防止硅片的氧化和雜質(zhì)的擴(kuò)散,并且可以通過加液系統(tǒng)在硅片表面開成HDMS保護(hù)膜,從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比,具有重復(fù)性好,節(jié)省藥液,環(huán)保,對(duì)人體無害的顯著優(yōu)點(diǎn);也可用于晶片其它工藝的清洗。

三、產(chǎn)品特點(diǎn):
1.控制界面:采用日本三菱PLC+7'觸摸屏人機(jī)交互界面,一鍵啟動(dòng),程序化運(yùn)行,溫度控制系統(tǒng),抽真空系統(tǒng),

充氮系統(tǒng),HMDS注液系統(tǒng)對(duì)接,亦可在操作界面單獨(dú)設(shè)定操控,實(shí)現(xiàn)一集多用。

2.箱體:工作室采用3mm優(yōu)質(zhì)不銹鋼內(nèi)膽,四周圓弧角焊接,表面凈化處理,密閉不漏氣,內(nèi)部自身不產(chǎn)塵,

適用于半導(dǎo)體晶圓,光電等潔凈環(huán)境。

3.外殼:采用SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵

4.密封:門封采用四氟乙烯雙層密封一體成型耐高溫膠條,密封性好,柔軟潔凈無污染。

5.溫度控制系統(tǒng):

5.1溫控器
采用日本FUJI數(shù)字型智能溫度控制器,控制精度±0.1℃,PID自動(dòng)演算,自動(dòng)恒溫,帶溫度傳感器斷線報(bào)警,超溫?cái)嗉訜幔^沖抑制,抗干擾,AT自整定,溫度偏差修正功能,帶8段斜率升溫功能。

5.2 溫度傳感器

采用日制PT100鉑金電阻,不銹鋼鎧裝覆套,精度±0.5%,反應(yīng)靈敏,抗干擾,耐高溫

6.真空度控制系統(tǒng)

6.1 真空計(jì)

采用三菱PLC壓力控制模塊搭配上海產(chǎn)優(yōu)質(zhì)真空壓力變送器,壓力精度1pa

6.2 真空泵

采用上海產(chǎn)優(yōu)質(zhì)雙旋片油泵,真空極限10-3pa,亦可根據(jù)客戶需要配置德國(guó)進(jìn)口真空泵。

7.充氮系統(tǒng)

采用惰性氣體進(jìn)氣閥,不銹鋼無縫焊接管路,搭配日本進(jìn)口電磁閥,截止閥,耐壓,無泄漏。臺(tái)制氮?dú)饬髁坑?jì),壓力調(diào)節(jié)閥,可充入氮?dú)猓瑲鍤獾榷喾N惰性氣體,氮?dú)饬髁浚淙霑r(shí)間可控制。

8.HDMS注液系統(tǒng)

防爆型HDMS制劑瓶,配置不銹鋼藥液管道,電磁回流閥,真空狀態(tài)打開閥門自動(dòng)注液,安全密封無泄漏。

9.安全保護(hù)系統(tǒng):

配置機(jī)臺(tái)異常工作狀態(tài)指示報(bào)警,安全斷路器,過壓過載保護(hù),控制線路保險(xiǎn)管,超溫保護(hù),壓力過載保護(hù),安全急停開關(guān)、工作狀態(tài)三色指示燈。所用電器器件及氣動(dòng)元件均采用國(guó)內(nèi)外大廠,確保安全可靠。

四、選配件:

1.多通道溫度記錄儀:帶RS485通訊端口,曲線模式,多點(diǎn)溫度同屏顯示,可存儲(chǔ)記錄,配置USB接口,插入U(xiǎn)盤到處數(shù)據(jù),亦可配置打印機(jī),打印溫度曲線。

2.壓力記錄儀:彩色液晶屏壓力記錄儀,在線監(jiān)控箱內(nèi)壓力,帶RS485通訊端口,可存儲(chǔ)記錄數(shù)據(jù),亦可通過軟件連接電腦,導(dǎo)出數(shù)據(jù)。


15700106413
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