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廣電計量檢測集團股份有限公司

Transpector MPH 殘余氣體分析儀

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱深圳市萬德泉科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/1/12 12:58:32
  • 訪問次數287
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深圳市萬德泉科技有限公司是一家集真空技術開發、應用與貿易于一體的專業公司。產品廣泛運用于真空行業、鍍膜、太陽能、半導體、科學研究、電力行業、航空航天、制造等領域。作為多家的真空設備及真空儀器供應商的代理商,我們可以為客戶提供的全套真空解決方案,解決客戶真空應用的難題,并且使客戶的成本降到。我們代理銷售的產品如下:瑞士Inficon (英福康)膜厚控制儀及探頭、石英晶振片、真空計、檢漏儀、殘余氣體分析儀、真空閥門、真空連接件。美國Agilent(安捷倫,原瓦里安)渦旋式干泵、分子泵、氦質譜檢漏儀。英國Edwards (愛德華)旋片泵、渦旋干式泵、分子泵、真空規管。瑞士VAT插板閥、閘閥、蝶閥、角閥等全系列真空閥門。 日本Hitachi Metals(原Aera)質量流量控制器。美國MKS質量流量控制器。美國SRS 四級質譜殘余氣體分析儀。美國Keyhigh 陶瓷壓電閥。韓國ONE C TECH低溫冷肼、壓縮機和冷媒銷售美國Angstromsciences磁控濺射陰極、靶材、反應氣體控制器。我們能提供維修業務的產品包括:MDC-360C/IC5/XTC2/SQC310/IC6/XTC3/等膜厚控制儀維修、inficon真空計維修,Edwards真空泵維修、inficon檢漏儀維修、AERA流量計維修。
Transpector MPH 殘余氣體分析儀Transpector MPH 殘余氣體分析儀監控您的過程的性能有助于提高產量并實現最長運行時間持續升高的硅晶圓價格和成品需求意味著損壞晶圓的代價比以前更高。因此,在半導體制造中心了解過程并監測缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統專門用于讓您的系統在所有氣體分析應用中都實現業內的性能,有助于限度地提高芯......
Transpector MPH 殘余氣體分析儀 產品信息

Transpector MPH 殘余氣體分析儀

監控您的過程

的性能有助于提高產量并實現最長運行時間

持續升高的硅晶圓價格和成品需求意味著損壞晶圓的代價比以前更高。因此,在半導體制造中心了解過程并監測缺陷也變得更加重要。Transpector
MPH 氣體分析系統專門用于讓您的系統在所有氣體分析應用中都實現業內的性能,有助于限度地提高芯片產量,降低工具停工時間。Transpector MPH
兼具較低總體擁有成本和較長故障平均間隔時間的特性,有助于讓您的盈虧底線優于市場上的所有其他殘余氣體分析儀 (RGA)。

INFICON
發揮其在氣體分析過程控制設備領域的專長,制造的 RGA 擁有業內的數據采集速度、可檢測分壓和最小的信噪比。所有這些特性都不會犧牲 INFICON
Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。


功能

  • 模擬掃描和所選峰值的 1.8 ms 每點數據率
  • TCP/IP 以太網連接
  • 雙絲極
  • 可現場更換電子倍增器
  • 組合陽極、陰極和反射極絲極套件
  • 較短的傳感器可降低安裝占地面積
  • 九個數量級的動態量程
  • <2E-15 Torr 的 MDPP(100 amu 型號)
  • 信噪比更高
  • 可調換傳感器和電子元件
  • 傳感器在潔凈室環境中裝配、測試并進行雙層包裝
  • 符合 RoHS 標準

規格

類型 MPH100F MPH100M MPH200F MPH200M MPH300F MPH300M
傳感器長度 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm
質量范圍 100 amu 100 amu 200 amu 200 amu 300 amu 300 amu
檢測器類型 FC FC/EM FC FC/EM FC FC/EM
靈敏度 (FC) 6E-4 A/Torr 6E-4 A/Torr 5E-4 A/Torr 5E-4 A/Torr 4E-4 A/Torr 4E-4 A/Torr
靈敏度 (EM) NA 500 A/Torr NA 500 A/Torr NA 250 A/Torr
最小可檢測分壓 3E-13 Torr 2E-15 Torr 4E-13 Torr 3E-15 Torr 5E-13 Torr 4E-15 Torr
傳感器工作溫度(FC) 200°C 200°C 200°C 200°C 200°C 200°C
傳感器工作溫度(EM) NA 150°C NA 150°C NA 150°C
絲極類型選件 (1) Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir
絲極類型選件 (2) Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten
分辨率(整個質量范圍內) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3)
溫度系數 <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C
每點數據率 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms
零沖擊(@ 質量 2) <5 ppm <5 ppm <65 ppm <65 ppm <100 ppm <100 ppm
工作壓力 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr
烘烤溫度 °C°F 300 300 300 300 300 300
功率輸入 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC

(1) 用于普通應用

(2) 用于鹵素環境應用

(3) 位于峰值高度的 10%

15700106413
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