質量流量控制器的工作原理:
質量流量控制器由驅動調節機構實現對氣路閥門開口大小的控制(閥控)、調節、關閉等,當要求關閉質量流量控制器時,質量流量控制器直接控制驅動機構執行關閉或開起動作,當需要對質量流量控制器流量實施閥控調節時,質量流量控制器驅動調節機構與流量傳感器和放大比較電路組成閉環負反饋控制,給定值由另三個控制單元提供,實際流量大小由傳感器信號放大,送給顯示模塊顯示,質量流量控制器通過 PLC 和 D/A 模塊,借助外圍輔助電路,既能給 MFC 提供各種開關量控制信號,又能供給大小可調的模擬量信號,從而達到用軟件程序對氣體的靈活控制。
質量流量控制器實物圖片: