質(zhì)量流量控制器傳感器采用微機(jī)械加工技術(shù),實(shí)現(xiàn)微小流量測(cè)量,其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無可動(dòng)部件,量程比寬,響應(yīng)時(shí)間較快,測(cè)量精度高,無需要溫度壓力補(bǔ)償,廣泛應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制。
工作原理:
感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作,在芯片上,一個(gè)微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上,采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo),使動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間大大提高,當(dāng)傳感器工作時(shí),微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場(chǎng)分布,如果氣體是單向流動(dòng),則在氣道中溫度場(chǎng)可用下述公式來計(jì)算:
式中:氣體流動(dòng)方向?yàn)椋俣葹椋觯釣閿U(kuò)散率。如上圖(式)所示,當(dāng)氣體流過芯片時(shí),將會(huì)帶走熱量,通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對(duì)應(yīng)關(guān)系來計(jì)算流體的質(zhì)量流量。
產(chǎn)品特點(diǎn):
·產(chǎn)品集成度高,集瞬間流量顯示、累計(jì)流量顯示和信號(hào)輸出一體,并可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)、控制閥門
·微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù),使流量計(jì)的微流量測(cè)量靈敏度顯著提升
·微小流量氣體測(cè)量,ml/min級(jí)的微流量測(cè)控,實(shí)現(xiàn)微小流量測(cè)量的數(shù)字化
·單個(gè)芯片的**流量特性的微處理技術(shù),使流量計(jì)的量程范圍大大提高
·機(jī)電一體化優(yōu)化設(shè)計(jì),智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù),使流量計(jì)具有更好的重復(fù)性,實(shí)現(xiàn)了計(jì)量的準(zhǔn)確、可靠
·結(jié)構(gòu)的優(yōu)化,流量計(jì)的壓力損失達(dá)到*小化
·采用國(guó)際*新的傳感技術(shù),使流量計(jì)工作更穩(wěn)定、可靠
·開創(chuàng)零點(diǎn)自校功能,測(cè)量更準(zhǔn)確
·多種氣體實(shí)際標(biāo)定,全量程補(bǔ)償
·快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ),配合上位機(jī)可實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理
·規(guī)格齊全,量程范圍寬,可根據(jù)用戶要求單獨(dú)標(biāo)定
·精度等級(jí)高,滿足用戶高精度測(cè)量要求
·的流量計(jì)報(bào)警功能,使監(jiān)控更可靠
·操作、設(shè)置界面友好、簡(jiǎn)便,可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)
·運(yùn)用行業(yè)多,是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級(jí)換代的優(yōu)選
技術(shù)參數(shù):
·測(cè)量介質(zhì):各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)
·測(cè)量管徑:DN3,6,8,10
·流量范圍:30,60,80,100,300,600,800,1000sccm;10,20,30,50,80,100SLPM
·流量測(cè)量準(zhǔn)確度:±1.5%FS;±2.5%FS
·工作溫度范圍:-25℃-55℃
·工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa
·供電電源:24VDC±10%;
·輸出信號(hào):4-20mA,RS485通訊;
·環(huán)境溫度:-25℃-55℃
·顯示位數(shù):瞬時(shí)流量為三位,累積流量10位。
外觀尺寸:
| L | D | H | G |
DN3 | 74 | 30 | 127 | G1/8 |
DN6 | 74 | 30 | 127 | G1/4 |
DN8 | 90 | 30 | 127 | G3/8 |
DN10 | 130 | 35 | 127 | G1/2 |