體積電阻率 表面電阻測試儀
LST-121型固體絕緣材料體電阻率和表面電阻測試儀是按照國家標準GB/T 1410-2006/IEC 60093:1980：《固體絕緣材料體電阻率和表面電阻率試驗方法》研制的多用途綜合測量裝置，它可以測試固體絕緣材料體電阻率和表面電阻率，也可單獨作為超高電阻計或微弱電流表使用。
本測試儀特增設雙窗口同步顯示測試結果(電阻率或表面電阻)及測試條件(電壓或電流)功能
固體絕緣材料體電阻率和表面電阻測試儀主要由主機、高壓測試臺等部分組成。主機主要由高壓電源、數控可編程放大器、高分辨率ADC、鍵盤輸入、顯示驅動及嵌入式單片機系統組成。高壓測試臺主要由標準環形三電極和連接線等組成！對于小面積高阻薄膜類樣品方阻測試可以選配LST-121-F02型方阻探頭。體積電阻率 表面電阻測試儀
儀器所有參數設定、功能轉換全部采用數字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校功能；可自動/手動轉換量程，測試結果由數字表頭直接顯示。儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、智能化程度高、結構緊湊、測量簡便、讀數方便等特點。
本儀器適用于防靜電產品如防靜電鞋、防靜電塑料橡膠制品、計算機房防靜電活動地板等電阻值的檢驗以及絕緣材料和電子電器產品的絕緣電阻測量。微弱電流測量如光電效應和器件暗電流測量.
二、技術參數
1. 測量范圍、分辨率
測試電壓范圍UX: 0.1V ～500V.
電阻測試范圍RX: 1×102Ω ～5×1013Ω， 分辨率1/2000,
電流測試范圍IX: 1.5× 10-3A ～ 10× 10-12A,分辨率1/2000。
體電阻率試范圍ρV: FV×102Ω-cm ～FV×1012Ω-cm，FV體電阻率修正系數1～99,默認標準三電極FV=23.76cm/h
表面電阻率測試范圍ρS: FS×103Ω/□～FS×1017Ω/□，FS表面電阻率修正系數1～99,默認標準三電極FS=34.55 lst-121 LST-121
2. 電阻量程劃分（電阻率要乘以相應修正系數1～99）、測試條件及誤差等級
序號 | 量程 | 有效測量范圍 | 測試電壓 | 測試電流 | 誤差 |
1 | 103Ω-cm/□ | 0.100～1.000 | 1.00V | 1.000～0.100 mA | ±5% FSB |
2 | 103Ω-cm/□ | 01.00～10.00 | 10.0V | 1.000～0.100 mA | ±3% FSB
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3 | 103Ω-cm/□ | 010.0～450.0 | 100V | 1.000～0.100 mA | |
4 | 106Ω-cm/□ | 0.450～4.500 | 500V | 1.000～0.100 mA | |
5 | 106Ω-cm/□ | 04.50～50.00 | 500V | 100.0～010.0μA | ±5% FSB |
6 | 106Ω-cm/□ | 050.0～500.0 | 500V | 10.00～1.00μA | |
7 | 109Ω-cm/□ | 0.500～5.000 | 500V | 1.000～0.100μA | |
8 | 109Ω-cm/□ | 05.00～50.00 | 500V | 100.0～010.0 nA |
±8%FSB
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9 | 109Ω-cm/□ | 050.0～500.0 | 500V | 10.00～01.00 nA | |
10 | 1012Ω-cm/□ | 0.500～5.000 | 500V | 1.000～0.100 nA | |
11 | 1012Ω-cm/□ | 05.00～50.00 | 500V | 100.0～010.0 pA | ±10%FSB
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3. 可測半導體材料尺寸（以標準電極為）
直 徑： 測試臺直接測試方式 寬(W)×長(L)≥90mm×90mm，或直徑 Φ≥90mm
厚 度： 測試臺直接測試方式 厚度d≤2.5mm,
4. 電源：
功耗：主機< 15W
輸入: 220V±10% 50Hz
5. 本儀器工作條件為：
溫 度： 0～35℃
相對濕度： ≤60%
工作室內應無強電磁場干擾，不與高頻設備共用電源。
6. 外形尺寸：
主 機： 320mm（長）×320 mm（寬）×135mm（高）
高壓測試臺： Φ=100mm（底座直徑）×80 mm（高）
三、工作原理
1. 測試原理：體電阻率和表面電阻率測試原理簡介如下：
注：詳細原理請參照國家標準GB/T 1410-2006/IEC 60093:1980：《固體絕緣材料體電阻率和表面電阻率試驗方法》
[1]體電阻率表面電阻率測量基本原理圖：
如下 圖1 固體絕緣材料電阻率測試原理圖
[2]體電阻率表面電阻率測量常用電極示意圖：
如下 圖2 標準平板樣品測試電極原理圖
如下 圖3 標準管狀樣品測試電極原理圖
[3]體電阻率表面電阻率測量計算公式：
[4]體電阻率表面電阻率測量重復性：
[5]體電阻率表面電阻率測量測試報告注意點：
[6]體電阻率表面電阻率測量快捷方式--標準測試電極時的修正系數：
當測試樣品形狀和測試電極形式確定時，則樣品體電阻率或表面電阻率與體電阻的換算系數就是常數。本儀器不但可以直接測試顯示測試電壓測試電流值，還可以設定相應換算系數值，就可以直接顯示樣品體電阻率或表面電阻率值。下是本機配備的測試三電極參數和測試樣品體電阻率或表面電阻率對應修正系數：
注：參照圖2，按以下修正系數，體電阻率終單位為Ω·cm表面電阻率為Ω/□
表3.1 環形三電極修正系數
序號 | 樣片圖示 | 基本尺寸參數 | 樣品修正系數F | 備注 |
1 標準 環形 三電 極 |
| d1= 50.0mm d2= 60.0mm d3=80.0mm d4=90.00 g= 5.0mm
| a體電阻測量 F=1.00 b體電阻率測試： FV=A/h=(23.76/h) cm c表面電阻率測試： FS=P/g=34.55 | 1:標準平板樣品 2:h 樣品厚度cm （標準配置） |
2 薄膜 方阻 環形 三電 極
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LST-121-F02 | d1=3.0mm d2=7.0mm d3=9.0mm d4=忽略 g= 2.0mm
| A薄膜方塊電阻率測試： FS=P/g=7.85 | （選配探頭） 測試高阻薄膜方塊電阻 |
LST-121-F01
2. 電氣原理
LST-121型超高阻微電流測試儀原理方框圖如圖3.3所示。
圖3.3 LST-121原理方框圖
四、結構特征
主機為儀器主要電氣部分所在，在其面板結構特征和標準三電極組成如圖4.1所示。
圖4.1 LST-121面板特征和標準三電極組成示意圖
主機后蓋板設有交流220V電源插座和保險絲座以及電源開關。
五、使用方法
ST2643型超高阻微電流測試儀能夠測量普通電阻器或絕緣材料的體電阻RX（修正系數1.000），絕緣材料體電阻率ρV、表面電阻率ρS（后二項需調整不同的修正系數），也可用作為微電流測試儀。
5.1 操作概述
(1) 測試準備（以體電阻率或表面電阻率測試為例）：
主機電源開關置于斷開位置，將電源插頭插入具有漏電保護斷路器的電源插座。打開主機電源，預熱半小時后，投入使用為宜！測試電極和測試樣品應在測試前應進行清潔處理。
如圖4-1，將測試臺的線纜插頭與主機的輸入插座連接起來，連接方式按照測試需要電阻率或方阻，參照原理章節3.1和圖1。將電極與樣品良好接觸，注意三電極中圓柱電極、環型電極和平板電極要同軸放置，樣品置于平板電極之上和圓柱電極、環型電極之下，平板電極的絕緣板朝下。
測試電壓量程選擇，一般選先選50V檔，對于測試結果大于高阻106的再選其它檔。如100V或更高電壓，主要原則就是測試電流要有3位到4位顯示值。
圖 5-1A 設定參數 圖5-1B測試電流 圖5-1C測試電壓
(2) 參數設定：
儀器開機默認狀態為“設定” 模式，參照圖5.1A LST-121面板示意圖，右窗口右側“設定”模式燈亮，通過鍵盤輸入需要的修正系數。系數有效范圍為00.01～99.99，,當前設定系數由右側窗口顯示。輸入完畢要按“確定”鍵保存。按鍵操作詳見下5.2節鍵盤輸入與窗口顯示規則說明，儀器默認修正系數（F=1.000）, 對于儀器所配電極，測試體電阻率或表面電阻率參照表3.1查取系數FV或FS,對于其他非標準電極，參照原理章節3.3計算FV或FS
(3)測量：
設定完畢，按“模式”鍵，切換儀器到“測量”模式（電流或電壓）。按“啟動”按鈕，啟動高壓并開始測試，窗口左側顯示體電阻率或表面電阻率（具體由設定系數意思確定），右側窗口顯示測試電流或測試電壓，如圖5-1B圖5-1C，由“模式”按鍵選擇，右側狀態指示燈指示。由數字顯示窗直接讀出測量結果。
！ 面板鍵盤詳細操作規則請見“鍵盤輸入與窗口顯示規則說明”。
（4）樣品的取出
首先按“停止”按鈕切斷高壓電源！再從儀器面板上UH和UL端拔掉高壓連接線，取出樣品！
5.2.鍵盤輸入與窗口顯示規則說明（請參見圖4.1 LST-121面板示意圖）
(1) 設定模式時鍵盤輸入與顯示規則
序 號 | 鍵名 | 功能描述 | 對應顯示 | 備注 |
1
| “模式” | 儀器“設定”和“測量”模式(“電壓”或“電流”)切換鍵。三者輪流選中 【開機默認“設定”】 | “設定”或“電壓”或“電流”指示燈亮,指示儀器當前模式。
| 儀器只有在“設定”模式才接受各類參數設定，只有在“測量”模式才測量參數。 |
2 | “0”、“1”、“2”……“8”“9” | 設定參數時，對應有效數字0、1、2…9輸入鍵。 | 窗口共顯示四位有效數字，閃爍提示當前等待輸入位，數字輸入后,閃爍提示自動移至低一位, | 參數設定開始提示位為左第yi位（gao位）,以后第yi至第四位（di位）循環提示． |
3 | “.” | 設定參數時小數點輸入鍵。 | 輸入時當前已輸入位小數點亮． | 數據返回顯示時，定點在當中“**.**”位。注意數據輸入有效范圍。 |
4 | “取消” | 當前已輸入位取消，當前等待輸入位向高（左）退一位， | 閃爍提示向高（左）退一位, |
|
5
| “確認” | 當前參數設定完畢（有效數字、小數點），按該鍵保存設定值。 |
| 參數設定完畢不按該鍵，儀器不保存設定值。退出該設定后，該項數據丟失。 |
6 | 其他 | 不響應 |
|
|
(2) 測量模式時鍵盤輸入與顯示規則
序號 | 鍵名 | 功能描述 | 對應顯示 | 備注 |
1
| “模式” | 儀器“設定”和“測量”模式中“電壓”或“電流”切換鍵。三者輪流選中 【開機默認設定】 | “設定”或“電壓”或“電流”指示燈亮,指示儀器當前模式。
| 儀器只有在“設定”模式才接受各類參數設定，只有在“測量”模式才測量參數。 |
2 | “A/H” | 當前測試電流檔位“自動/手動”方式切換鍵 【開機默認自動】 | “自動”時， “手動” | 只有測量模式，此鍵才有效。 |
3 |
| 手動方式下，手動切換電流量程按鍵，分別為向左（大）向右（小）功能。 | 切換后，對應量程指示燈和小數點作相應改變！ | 只有測量模式，在手動方式，手動切換按鍵 |
4 | 其他 | 不響應 |
|
|
無效
時才有效
才有效5.3.兩端子電阻器體電阻測試操作：
對于兩端子電阻器體電阻RX測量，利用“UH”作高壓輸出，經電阻器，再由“Ii”端輸入構成測試回路，“UL”端不用。
5.4.作為微電流表的測試操作：
對于單獨作為微電流表的測量操作，利用“Ii”作電流輸入端，經儀器，再由“UL”端輸出構成測試回路，“UH”端不用。
5.5.作為小型薄膜方阻的測試操作：（選配LST-121-F02小型薄膜方阻測試探頭）
如左圖5-2，對于外形尺寸較小10mmX10mm以下的高阻薄膜，測試方阻，ST2254-F01型標準電極因尺寸較大不好測試，可以選用小型LST-121-F02型環形電極探頭。
薄膜測試注意點，首先測試電壓盡量選用50V，高阻需要才選500V。特別是不可高壓未關閉就進行探頭升降操作，這樣會在電極和薄膜接觸未穩狀態時打火，灼傷或燒壞薄膜，引起測試不準甚至測試不出數據！如圖所示。
圖5-2 LST-121-F02環形探頭
六.高壓高阻測試操作注意點：
高壓高阻測量一定要嚴格按使用方法步聚進行，否則有可能造成儀器損壞或電人。
6.1 禁止將“Rx”兩端短路，
以免微電流放大器受大電流沖擊損壞
6.2 在測試過程中不要隨意改動測量電壓。
隨意改動測量電壓可能因電壓的過高或電流過大損壞被測試器件或測試儀器，而且有的材料是非線性的，即大范圍內電壓與電流是不符合歐姆定律，有改變電壓時由于電流不是線性變化，所以測量的電阻也會變化。測試電壓量程選擇，一般選先選50V檔，對于測試結果大于高阻1010的再選500V檔。再電壓檔位切換時，應該先關閉高壓。
6.3 測量時從低次檔逐漸拔往高次檔
測量時盡量用手動方式，從低檔位逐漸拔往高檔，每撥一次稍停留至少1～2秒以使觀察顯示數字，當被測體電阻大于儀器測量量程時，電阻表顯示“
”，表示超量程，當被測體電阻小于儀器測量量程時，電阻表顯示“
”，表示欠量程，儀器超或欠量程時，量程指示燈和顯示數據會閃爍。此時應繼續將儀器撥到量程更高或更低的位置，當儀器測量量程合適時，便停止閃爍，穩定顯示數據，當前的數字乘以檔位指示數量級指數即是被測值。當有穩定顯示數字時不要再往更高次檔撥，否測儀器會過量程，機內保護電路開始工作，超或欠量程儀器測量準確度會下降。!
6.4 大部分絕緣材料，特別是防靜電材料的電阻值在加電壓后會有一定變化而引起數字變化
由于本儀器的分辯率很高，因而會引起顯示值的末尾幾位數也變化，這不是儀器本身的問題，而是被測量對象的導電機理復雜而使得阻值有些變化。在這種情況下往往取2位有效數就夠了。
6.5 接通電源后，手指不能觸及高壓線的金屬部分
本儀表有三連根線:高壓線(紅/黑)和微電流測試線。在使用時要注意高壓線，開機后人不能觸及高壓線，以免電人或麻手。
6.6 測試過程中不能觸摸微電流測試端
微電流測試端怕受到大電流或人體感應電壓及靜電的沖擊。所以在開機后和測試過程中不能與微電流測試端接觸，以免損壞儀表。
6.7 在測量高阻時，應采用屏蔽盒將被測物體屏蔽.
在測量大于1010 Ω以上時，為防止外界干擾面而引起讀數不穩。
6.8 每次測量完時應將量程開關撥回“103”檔再進行下次測試
在測量時應逐漸將量程開關撥到高阻檔，測量完時應將量程撥回低檔。以確保下次量程處在低阻量程檔。
