等離子清洗機(plasma cleaner)，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、涂覆等目的
5L等離子清洗機 電容耦合特點：
腔體可利用面積大，起輝均勻，可清洗6英寸硅片。
5L等離子清洗機電容耦合技術參數：
| 主要部件 | 指標名稱 | 參數指標 |
| 清洗倉體 | 清洗倉材質 | SS304 |
| 清洗倉尺寸 | 200x160x240mm | |
| 耦合方式 | 電容耦合 | |
| 射 頻 電 源 | 電源特性 | 該電源為全固態射頻電源，采用高穩定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質量的電子元器件，使產品的可靠性得以保證。 |
| 電源優勢 | ●可長時間正常運行 ● 電源效率高、發熱少 | |
| 射頻功率 | 0~300W連續可調 | |
| 信號頻率 | 13.56MHz ±0.005% | |
| 反射功率 | ≤100W | |
| 功率穩定度 | ±0.1% | |
| 射頻接頭 | N型頭 | |
| 整機效率 | ≥75% | |
| 諧波分量 | ≤-50 dBc | |
| 冷卻方式 | 強制風冷 | |
| 氣 體 測 量 | 測量部件 | 兩路質量流量計 Ar 0~200sccm； O2 0~200sccm 可定制 其他參數參考之前的產品 |
| 氣體通道 | 兩通道 | |
| A通道量程 | 10～100ml | |
| B通道量程 | 16～160ml | |
| 真 空 獲 取 | 真空測量 | 數字真空計（電阻規） |
| 真空抽取 | 雙極旋片泵 | |
| 電機轉速 | 50Hz時為：1440；60Hz時為：1720。 | |
| 抽氣速率 | 50Hz時為：240L/Min；60Hz時為：288L/Min。 | |
| 真空量程 | 0.1Pa～10000Pa | |
| 極限真空 | 0.5Pa | |
| 電機噪音 | ≤56dB | |
| 管道接口 | 進氣口：KF16;排氣口KF16. | |
| 連接管道 | KF16真空波紋管 | |
| 真空閥門 | KF16球閥 | |
| 電機功率 | 400W | |
| 其 它 | 供電電源 | AC220V 50/60Hz |
| 整機功率 | 800W | |
| 使用溫度 | -10℃ -- 40℃ | |
| 工作真空 | ≤40Pa | |
| 整機尺寸 | 600mmX650mmX560mm | |
| 整機重量 | 80kg（含包裝） | |
