3D激光干涉儀--同步測量被測物體的位移、偏擺角和俯仰角 | ||||||
世界范圍內,同類產品中效率精度的干涉儀。
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技術參數
位移測量范圍 | 15 m |
位移測量分辨率 | 1.25 nm |
位移測量精度 | +/-0.4 ppm(需使用環境補償器) |
位移測量速度 | 2 m/s |
位移速度測量精度 | 1 ppm |
角度測量范圍 | +/-10° |
角度測量分辨率 | 0.012角秒 |
角度測量精度 | +/-0.1 ppm(角度沿某中心旋轉) +/-0.02%+/-0.5+/-0.1M(M=軸向標定距離,單位為米) |
角度測量速度 | 90 rad/s |
角速度測量精度 | 1 ppm |
上圖為從一個坐標軸方向同步測量物體的位移、偏擺和俯仰角光路圖 視頻演示
三軸測量軟件(位移、偏擺和俯仰角) 三角關系的設定 測量結果的統計 在位置5開始測量 位移和角度的測量 ISO230數據統計標準
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