 在德國，耶拿地區(qū)以生產(chǎn)蔡司光學(xué)產(chǎn)品而聞名。位于該地區(qū)的耶拿爾（JENAer）公司生產(chǎn)的ZLM700雙頻激光干涉儀在同類產(chǎn)品中，由于具有的性能優(yōu)勢和簡單的操作方法而久負盛名。由本公司代理，德國耶拿爾JENAer公司生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀是真正意義上的雙頻干涉儀，并非單頻干涉原理。 產(chǎn)品功能 定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量，還能夠測量數(shù)控機床回轉(zhuǎn)臺的定位精度和重復(fù)定位精度等，從而實現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測量，廣泛應(yīng)用于高速動態(tài)加工工藝中的機械定位和系統(tǒng)控制。 性能優(yōu)勢 l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區(qū)別。雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國耶拿爾公司是其中的一家。 l 全部部件皆在德國生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上一家將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。 l 測量系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計，各種測量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能（如僅測量直線度），則僅采購所需功能部分的光學(xué)部件（直線度光學(xué)鏡），其他不需要的功能暫時可以不采購；若后期有其他功能的需求，補充采購功能對應(yīng)的部件即可。 l 激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩(wěn)頻精度高，一小時內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達±0.02ppm。 l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達±0.4ppm。 l 計算機輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。 l 采樣頻率更快，達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。 l 被測物體速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達0.6nm（當(dāng)移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達為0.1nm）。 l 無加速度限制；當(dāng)光線微弱時，性能也十分穩(wěn)定。 l 信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。 l 對于多軸聯(lián)動的復(fù)雜光路測量和微位移測量，請選用ZLM800型雙頻激光干涉儀，最多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。 工作原理 ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號處理。這種高頻處理信號能夠?qū)Ω咚傥矬w進行測量，不會出現(xiàn)干擾誤差，信號延時時間極短。 采用光纖電纜，把來自干涉鏡的信號傳輸?shù)接嬎銠C卡槽連接的電子計數(shù)器上，避免了外部電磁環(huán)境對測量信號的干擾。因此，ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)化實驗室和高真空環(huán)境。 技術(shù)參數(shù) 型號：ZLM700 AE700數(shù)據(jù)處理器 AE950數(shù)據(jù)處理器 He-Ne激光平均波長： 632.8 nm 632.8 nm 激光穩(wěn)頻精度： 一小時：2x10-9（±0.002ppm） 壽命內(nèi)：2x10-8（±0.02ppm） 一小時：2x10-9（±0.002ppm） 壽命內(nèi)：2x10-8（±0.02ppm） 系統(tǒng)精度（0-40℃時）： ±0.4ppm ±0.4ppm 線性誤差： ±1.25nm（角隅干涉鏡） ±0.62nm（平面干涉鏡） ±0.3nm（角隅干涉鏡） ±0.1nm（平面干涉鏡） 采樣速度： 內(nèi)部0.005Hz-40MHz 外部0.001Hz-10MHz，可調(diào) 內(nèi)部0.005Hz-40MHz 外部0.001Hz-10MHz，可調(diào) 光束直徑： 6mm（可選3.2mm） 6mm（可選3.2mm） 激光管功率： 1mW（II級激光） 1mW（II級激光） 預(yù)熱時間： 12分鐘 12分鐘 速度： 4m/s（可選16m/s），線速度 320rad/s，角速度 1m/s，線速度 80rad/s，角速度 加速： 無限制 無限制 速度測量精度： ±0.5ppm實測值 ±0.5ppm實測值 位移測量分辨率： 2.5nm（角隅干涉鏡） 1.25nm（平面干涉鏡） 0.62nm 可選 0.6nm（角隅干涉鏡） 0.3nm（平面干涉鏡） 0.1nm 可選 位移測量精度： (20°±0.5°) 使用AUK (20°±0.5°) 真空中 ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) 線性測量距離： 40m（可選120m） 40m（可選120m） 線性度測量分辨率： 2.5nm（角隅干涉鏡） 1.25nm（平面反射鏡） 0.62nm 可選 0.6nm（角隅干涉鏡） 0.3nm（平面反射鏡） 0.1nm 可選 線性度測量精度： (20°±0.5°) 使用AUK (20°±0.5°) 真空中 ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) 角度測量范圍： ± 15°，20m軸線范圍 ± 15°，20m軸線范圍 角度測量分辨率： 0.062μrad（0.012角秒） 0.015μrad（0.012 角秒） 角度測量精度： ±0.1ppm 示值 ±0.1ppm 示值 平面度測量范圍： 20m行程 20m行程 平面度測量分辨率： 0.062μrad（3x10-3 弧秒） 0.015μrad（3x10-3 弧秒） 平面度測量精度： ±0.2%實測值 ±0.05μrad/米行程 ±0.2%實測值 ±0.05μrad/米行程 直線度測量范圍： ± 5mm，2m或10m行程 選用角度干涉鏡可測30m行程 ± 5mm，2m或10m行程 選用角度干涉鏡可測30m行程 直線度測量分辨率： 145nm，10m行程 29nm，2m行程 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 直線度測量精度： ±0.5%實測值，2m行程 ± 2.5%實測值，10m行程 ±0.5%實測值，2m行程 ± 2.5%實測值，10m行程 垂直度測量范圍： ± 5mm，2m或10m行程 選用角度干涉鏡可測30m行程 ± 5mm，2m或10m行程 選用角度干涉鏡可測30m行程 垂直度測量分辨率： 145nm，10m行程 29nm，2m行程 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 垂直度測量精度： ±0.5%實測值± 0.5角秒（2m） ±2.5%實測值± 0.5角秒（10m） ±0.5%實測值± 0.5角秒（2m） ±2.5%實測值± 0.5角秒（10m） 回轉(zhuǎn)軸測量分辨率： 0.00005° 0.00005° 回轉(zhuǎn)軸測量精度 0.00025° 0.00025° 數(shù)據(jù)接口： 積分信號 32 Bit (實時信號) 信號延時小于20 ns 積分信號 32 Bit (實時信號) 信號延時小于20 ns 數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)： ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA 工作環(huán)境： 溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝 溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝 儲存環(huán)境： 溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝 溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝 環(huán)境補償器AUK： 環(huán)境傳感器精度： <0.1 ℃ 壓力傳感器精度： <1.5 hPa 相對濕度精度： <5% 材料傳感器精度： <0.05 ℃ 環(huán)境傳感器精度： <0.1 ℃ 壓力傳感器精度： <1.5 hPa 相對濕度精度： <5% 材料傳感器精度： <0.05 ℃ |
應(yīng)用光路圖
以上為直線度測量示意圖，包括水平方向直線度和垂直方向直線度
以上是平面度測量示意圖
以上是垂直度測量示意圖
以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測量示意圖
以上是對角測量示意圖
以上是俯仰角測量示意圖
以上是偏擺角測量示意圖
以上是滾動角測量示意圖
以上是回轉(zhuǎn)臺定位精度測量示意圖
以上是對長度標(biāo)準(zhǔn)器（長度規(guī)）進行標(biāo)定的應(yīng)用
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