產品描述

MicroXAM-800光學輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統。MicroXAM的白光干涉儀可以埃級分辨率對表面進行高分辨率測量。該系統支持相位和垂直掃描干涉測量，兩者都是傳統的相干掃描干涉技術（CSI）。MicroXAM進一步擴展了這些技術，它采用SMART Acquire為新手用戶簡化了程序設置，并且采用z-stitching干涉技術可以對大臺階高度進行高速測量。

MicroXAM測量技術的優勢在于測量的垂直分辨率與物鏡的數值孔徑無關，因而能夠在大視野范圍內進行高分辨率測量。測量區域可以通過將多個視場拼接為同一個測量結果而進一步增加。MicroXAM的用戶界面創新而簡單，適用于從研發到生產的各種工作環境。

主要功能

• 針對納米級到毫米級特征的相位和垂直掃描干涉測量

• SMART Acquire簡化了采集模式并采用已知的程序設置的測量范圍輸入

• Z-stitching干涉技術采集模式，可用于單次掃描以及編譯多個縱向(z)距離很大的表面

• XY-stitching可以將大于單個視野的連續樣本區域拼接成單次掃描

• 使用腳本簡化復雜測量和工作流程分析的創建，實現了測量位置、調平、過濾和參數計算的靈活性

• 利用已知技術，從其他探針和光學輪廓儀轉移算法

  

主要應用

• 臺階高度：納米級到毫米級的3D臺階高度

• 紋理：3D粗糙度和波紋度

• 形式：3D翹曲和形狀

• 邊緣滾降：3D邊緣輪廓測量

• 缺陷復檢：3D缺陷表面形貌

  

工業應用

• 大學、研究實驗室和研究所

• 半導體和化合物半導體

• LED：發光二極管

• 電力設備

• MEMS：微電子機械系統

• 數據存儲

• 醫療設備

• 精密表面

• 汽車

• 還有更多：請與我們聯系以滿足您的要求