一、產(chǎn)品用途
主要用于半導(dǎo)體、藍(lán)寶石、玻璃、陶瓷片、晶體材料及其他硬脆材料的高精度雙面研磨，尤其對于超薄工件的加工具有明顯的優(yōu)勢。
二、安裝條件
| 序號 | 項目 | 指標(biāo)要求 |
| 1 | 環(huán)境 | 室內(nèi)地面平坦、無振動源、無灰塵煙霧污染 |
| 2 | 水源 | 純水或自來水 |
| 3 | 電源 | 約70kW AC380V 50Hz（總功率） |
| 4 | 氣源 | 壓縮空氣源 0.6Mpa，接口φ16mm（外徑） |
| 5 | 溫度 | 10℃-25℃ |
| 6 | 相對濕度 | ≤95% |
| 7 | 外形尺寸（長x寬x高） | 3700x3000x4100mm（含地腳高度及電器柜尺寸） |
| 8 | 主機重量 | 28000Kg |
| 9 | 主機顏色 | BH白或訂制 |
三、主要特點
| 序號 | 項目 | 特點 | |
| 1 | 壓力控制 | 運動控制器+壓力傳感器+電氣比例閥+低摩擦氣缸實現(xiàn)高精度壓力控制，上盤使用壓力1200Kg，精度可達(dá)2% | |
| 2 | 上盤調(diào)心 | 采用萬向節(jié)結(jié)構(gòu)，調(diào)心靈活，承載力高 | |
| 3 | 上盤防落裝置 | 雙重機械鎖定，安全性更高 | |
| 4 | 高精度速度控制 | 自編程實現(xiàn)低速平穩(wěn)、啟停同步運轉(zhuǎn)控制，內(nèi)外齒圈采用伺服控制，速度控制更精準(zhǔn) | |
| 5 | 精密傳動系統(tǒng) | 高精度小齒隙全齒輪傳動 | |
| 6 | 下盤支撐 | 高精度流體軸承支撐 | |
| 7 | 免維護(hù)設(shè)計 | 齒輪采用自動集中潤滑裝置，關(guān)鍵器件采用進(jìn)口品牌，軸承留有潤滑接口 | |
| 8 | 強制散熱系統(tǒng) | 軸流風(fēng)機排熱方式，并預(yù)留抽風(fēng)接口，用戶可自行連接 | |
| 9 | 清洗便捷 | 低臺面、半裸式接液盆 | |
| 10 | 同步升降 | 齒圈太陽輪同步升降，采用伺服電機拖動，可自動或手動調(diào)節(jié)高度，延長使用壽命 | |
| 11 | 游輪精確定位 | 齒圈太陽輪采用伺服電機拖動，可實現(xiàn)游輪的精確定位 | |
| 12 | 水液分離裝置 | 水液切換程序控制，自動分離，操作便捷，清洗水可自動排放 | |
| 13 | 整機減振 | 防振式結(jié)構(gòu)設(shè)計安裝，設(shè)備更穩(wěn)定 | |
| 14 | 防護(hù)設(shè)計 | 齒圈、太陽輪采用不銹鋼制作，接液盆，托盤、拋盤等接觸到工作液的地方均噴涂特氟龍 | |
| 15 | 供液系統(tǒng) | 桶體設(shè)有排污口，具備溫度、液位監(jiān)測，具有加熱和冷卻功能，具有液泵和攪拌泵，出口設(shè)有過濾器，管路設(shè)有流量監(jiān)測，能在線實時檢測流量 | |
| 16 | 自動測厚 | 設(shè)備裝有機械測厚系統(tǒng)，能在線實時檢測工件加工厚度 | |
| 17 | 分級管理 | 密碼分級管理，不同人員具有不同的操作權(quán)限 | |
| 18 | 工藝適用性 | 程序控制 | 可儲存多套工藝參數(shù)，每套工藝可達(dá)20步，工藝參數(shù)設(shè)置包括（壓力、時間、速度、速比、緩降壓力、浮動時間等） |
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速比搭配 | 四電機獨立同步拖動，上下盤、內(nèi)齒、外齒（即可正轉(zhuǎn)，也可反轉(zhuǎn)）轉(zhuǎn)速可任意設(shè)定，具有配方功能 | ||
