NewView™ 9000 Series3D光學輪廓儀
? 高靈敏度1.9 MP傳感器
? 快速非接觸式測量
? 的可視化3D表面
? 亞埃級精度
? 超精密&計量能力
? 增強光學成像
? 自動零件定位
NewView™ 9000 3D光學輪廓儀提供了強大、多功能的非接觸式光學表面分析。它可以簡單和快速地測量各種表面類型，包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表面。所有的測量都是無損、快速、無需樣品制備的。
ZYGO相干掃描干涉技術(CSI)是系統的核心技術，在所有放大倍數下實現亞納米的精度，并且能夠快速準確的測試各種樣品表面，為客戶提供高投資回報率的體驗。
性能，價值和多樣性
靈活性是ZYGO NewView產品的標志。NewView 9000光學輪廓儀提供多樣化的應用，包括平面度，粗糙度和波紋度，薄膜，臺階高度和更多應用。
所有NewView 9000輪廓儀都配備一個3位變焦塔臺，可以為系統自動切換不同倍率的分立變焦。樣品臺可選配手動型或全自動編碼型。
所有NewView 9000輪廓儀系統都提供高精度測量，易于使用和快速測量，價格吸引人，在通用性和應用價值方面使其成為3D光學輪廓儀的理想選擇。
以下差異化特性實現用戶計量更好、更快和更可靠:
? 大面積1.9 MP傳感器：高靈敏度，在單次測量中獲取更多的信息
? 高速測量：只需幾秒時間，優化的測試能力和程序控制
? 自動零件聚焦和定位：減少操作員測試差異，提高培訓和測試效率
? 重復性特征：優異的測量精度和可重復性，為高要求的生產應用提供服務
? 抗震測量： SureScan™抗震技術和集成式抗震平臺使系統在震動環境下也可實現高精度計量
? SmartPSI™技術：對超光滑表面進行快速分析測量
? 2D和3D的相關性：測量結果遵循ISO 25178和ISO 4287標準。
? Mx™軟件：實現儀器控制、分析和測量自動化
的分析&控制軟件
NewView 9000輪廓儀使用ZYGO Mx™軟件，支持完整系統控制和數據分析，包括豐富的交互式3D繪圖，量化的形貌信息，直觀的測量導航以及內置的SPC統計，質量控制圖，通過/失敗限制設置。
? 交互式3D繪圖 – 縮放，平移，旋轉，并實時更新結果。
? 靈活分析 – 廣泛的定量分析結果，包括數據視圖和過濾器。
? 直觀的用戶界面 – 易于學習和使用的流程界面設計。
? 內置SPC分析工具 – 跟蹤結果，監控合格/不合格的標準，跟蹤處理數據。
還有滿足特殊應用需求的應用程序模塊，如透明薄膜的樣品測量，2D圖像分析等。
靈活的配置
NewView 9000輪廓儀的工作區域功能開放，界面條理清晰，使測量設置和轉換簡單&快速。系統可以配備多種樣品平臺，從手動型到全自動型，150毫米XY平移和4度俯仰傾斜。可選集成式的抗震平臺，緊湊的尺寸，使它非常適合于臺式安裝，結合可選的工作臺使其成為理想的生產型測試系統。
