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廣電計量檢測集團股份有限公司

ICP感應耦合等離子體刻蝕機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱沈陽麥科諾科技有限公司
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  • 型       號
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  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/12/19 18:42:48
  • 訪問次數330
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沈陽麥科諾科技有限公司是一家專業實驗室儀器提供商,創建于2016年。公司以超高、高真空技術與高精度制冷技術為核心技術,持續開發具有自主知識產權的真空設備與冷水機產品,包括磁控濺射鍍膜機、電子束/電阻蒸發鍍膜機、ICP等離子體刻蝕機、RIE反應刻蝕機、平板式PECVD/管式PECVD、小型電弧爐、系列高精度高性能循環水冷水機等。公司在真空鍍膜設備和真空應用設備的研發和制造上處于行業地位,如聯合高校、中科院所共同研發的粉體顆粒表面鍍膜設備、異形體表面鍍膜設備、熱絲CVD金剛石生長設備、真空升華提純設備等,其中有多種產品空白。公司自主生產的真空產品涵蓋低真空、高真空、超高真空的上百品種,廣泛應用于大專院校、科研院所的教學、實驗;企業的產品研發、產品中試、生產,深受用戶的好評。公司服務領域包括汽車、能源、電力、半導體、航空航天、藥品食品、石油化工、科學研究、分析測試儀器等行業,以產品技術*、性能穩定、可靠耐用、性價比合理,受到用戶的信任與支持。公司的目標是為為用戶提供技術*、性能穩定可靠的的實驗室產品,我們相信產品的高性能與高可靠性將為客戶和我們自己創造值。發展歷程2016年-創建沈陽麥科諾科技有限公司2016年-研發成功VTC300小型磁控濺射鍍膜儀并銷售市場2016年-研發成功反轉倒置磁控濺射靶并銷售市場2017年-研發成功ICP等離子體刻蝕機并銷售市場2017年-研發成功高分子派瑞林鍍膜機并銷售市場2018年-研發成功冷陰極離子源并銷售市場2018年-研發成功桌面式DTM-1真空熔煉爐并銷售市場2018年-與北京大學東莞光電研究研合作發成功款紫外光源2018年-研發成功陶瓷電路專用鍍膜機并銷售市場2019年-研發成功國內高性能高能電子衍射儀2019年-與昆明理工大學合同研制成功RF等離子體球化設備2020年-研發成功PET局卷繞磁控濺射鍍膜機2020年-研發成功離子束刻蝕機
ICP感應耦合等離子體刻蝕機
ICP感應耦合等離子體刻蝕機 產品信息

本設備主要用于常規尺寸樣片(不超過Φ6-8英寸)的刻蝕,可刻蝕的材料主要有SiO2、Si3N4、多晶硅、硅、SiC、GaN、GaAs、ITO、AZO、光刻膠、半導體材料、部分金屬等。設備具有選擇比高、刻蝕速率快、重復性好等優點。

設備主要由高真空刻蝕室、真空獲得及真空測量系統、恒壓系統、電源系統、ICP系統、氣路系統、電氣控制系統、自動控制系統、冷卻系統、報警系統等部分組成。

刻蝕材料:Si、SiO2、SiN、Poly-Si、聚合物、光刻膠等材料

氣路:6臺MFC控制6路氣體進氣

樣品有效尺寸:Φ150mm(Φ6英寸)


15700106413
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