XD 激光干涉儀，能夠 一次安裝同時測量 數控直線軸的線性定位誤差(包括定位精度、重復定位精度、反向間隙)、直線度（XX 方向和YY 方向）等三個參數，測量效率相比傳統激光干涉儀提高三倍以上。該配置還可以通過選配件來測量兩個直線軸的垂直度、小角度精度等。

特點和實現功能：

• 線性定位誤差測量：包括定位精度、重復定位精度、反向間隙

• 直線度測量：包括垂直于運動軸方向的兩個方向（豎直、水平）的直線度

• 一次安裝可以同時測量以上多個參數，無需更換光學組件，效率提高數倍以上

• 直線度和角度測量中不怕斷光，可以替代準直儀使用，對安裝進行指導調整

• 安裝靈活方便，可以選擇多種安裝方式，即使在苛刻的擁擠環境都能便捷安裝

• 環境適應性廣

1 、XD  激光干涉儀的設計理念

• 提高激光干涉儀的測量效率, 減少機床的停產時間 減少機床的停產時間 。

• 測量精度: 0.5 ppm ( 標準型) 。

• 兩點調光線, 設置操作簡單容易 。

• 常規測量無需三角架，結構緊湊，便于攜帶 。

XD 激光干涉儀，一次設置能夠同時測量數控直線軸的多個誤差參數（單軸多 6 個誤差參數）。減少了機床的停產時間，提高了實際測量精度（測量該軸的各誤差參數時, 無時間差）, 操作使用容易。傳統干涉儀需要數天時間才能完成的測試，API XD 激光干涉儀只需 2 到 3 個小時。XD-5/6D 激光干涉儀節省機床停產時間達 80%以上。多參數同步測量所揭示的機床真實誤差狀況是傳統干涉儀所無法做到的。

2、*的結構設計

API 公司采用了穩定鋼球與絕熱層的雙重定位設計（如下圖），將干涉鏡用高絕熱層與激光器主機隔開，從而避免了干涉鏡受熱變形，用穩定鋼珠將干涉鏡前端的干涉區與下端底盤定位相連，從而使激光管及電路板發熱而引起的熱膨脹方向沿穩定鋼珠中線向后，使得干涉鏡不受影響，保證了測量準確性。

3 、線性測量原理

利用氦氖激光作為長度基準，對數控設備（加工中心、三座標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度、反向間隙等）進行精密測量的精密測量。

激光干涉儀通過接收到的激光的明暗條紋變化，再通過電子細分，從而知道距離的細微和準確變化。

4 、直線度測量原理

PSD 是一種新型半導體光電位置敏感探測器件在激光干涉儀的反射鏡上集成一個高精度的 PSD 位置敏傳感器，進行測量，不僅測出直線軸的定位精度，同時也可以將軸的兩個方向直線度同時測出，大大提高了測量效率，且穩定性好、精度高,而且也適合長距離的同時也是二維直線度誤差的測量。

利用 API 激光干涉儀還可以對機床長導軌進行直線度測量，使用非常方便。一次安

裝測量即可得到兩個方向的直線度誤差。

5、XD3LS  主要參數指標

6、測量案例