凈化型勻膠機特點:
1、帶有100級空氣凈化裝置,可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵,防止
勻膠過程中的雜質污染。
2、 設置有LED照明燈,可程控照明,非常方便日常操作。
3、可設置時間--轉速曲線,程序控制勻膠工藝
4、7英寸液晶顯示屏,操作簡單易學無需專業(yè)學習
5、采用無刷伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。
6、機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、生銹,便于清洗。
7、排風和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。
8、透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時隔絕光阻的溢出有效
隔絕有毒氣味的散發(fā)。
9、前面板設置有電動玻璃屏升降按鈕,可電動升降前擋玻璃板。
主要技術參數(shù):
勻膠時間:1-99秒
勻膠轉數(shù):0-8000轉/分
凈化效果:100級(美國聯(lián)邦標準)
操作區(qū)風速:0.3-0.5米/秒(有效操作區(qū)氣流狀態(tài):垂直層流()
適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠
外形尺寸:左右寬800mm;上下高1700mm;前后深680mm
殼體顏色:亞白色
控制范圍和精度:轉速控制范圍為:500-8000轉,精度為±3%
時間控制范圍為:1-99秒,精度為±5%
轉速調整:采用PID調節(jié),精度高。
轉速查看智能化:可自動識別哪個電機開或關,自動轉換到開啟的電機上。可予先選定,也可在運行中隨時查看任一電機的轉速。