簡述：
在21世紀(jì)的納米技術(shù) (如代表信息相關(guān)技術(shù)的*半導(dǎo)體，聲明科學(xué)相關(guān)技術(shù)，如基因治療，原子或分子處理，如MEMS和新材料生成等工程技術(shù))，振動(dòng)，噪音，電磁場，熱量，濕度，干擾等等將是測量環(huán)境的制約因素。在納米技術(shù)中，為取得可靠的結(jié)果，難以使用氣浮臺(tái)隔振的低頻范圍，需要主動(dòng)隔振。
桌面式主動(dòng)防振臺(tái)-Herz TS Series*主動(dòng)隔振系統(tǒng)將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)，將有助于促進(jìn)當(dāng)前技術(shù)和測量，創(chuàng)新和發(fā)展未知技術(shù)。TS 系列在0.7 Hz -100 Hz 寬范圍內(nèi)可在所有六個(gè)自由度上提供出色的主動(dòng)隔振性能。
工作原理：
桌面式主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)-桌面式主動(dòng)防振臺(tái)-Herz TS Series采用*的隔振技術(shù)，可以隔離6個(gè)空間方向的振動(dòng)（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主動(dòng)隔振臺(tái)利用控制器內(nèi)的壓電加速傳感器將外界振動(dòng)的壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，隨后壓電換能器將產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等，方向相反的壓力信號(hào)來消除傳入振動(dòng)。隔振系統(tǒng)利用一個(gè)反饋回路消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振。
產(chǎn)品特征：
- 三個(gè)維度六個(gè)自由度主動(dòng)隔振 0.7 Hz -1000 Hz
- 高度調(diào)節(jié)將在負(fù)載儀器時(shí)自動(dòng)啟用
- 即使負(fù)載偏離中心，自動(dòng)調(diào)平功能將保持水平，可在負(fù)載高重心儀器時(shí)提供穩(wěn)定性。
- 只需按壓前面的按鍵即可鎖定和解鎖系統(tǒng)。鎖定系統(tǒng)可防止搬運(yùn)或運(yùn)輸過程中發(fā)生損壞。
- 顯示屏顯示 X, Y 和 Z 方向上的實(shí)際振動(dòng)水平。
- 通過使用遙控盒，也可從外部啟動(dòng)或關(guān)閉主動(dòng)隔振。
注：TS 系列也可用作振動(dòng)器。可選配外部激勵(lì)器盒，但需市售功能發(fā)生器和BNC 電纜。
搭載設(shè)備：
- 掃描電子顯微鏡，如AFM
- 三維表面輪廓儀
- 激光顯微鏡
- 激光干涉儀
- 液體表面張力測量系統(tǒng)
- 顯微硬度測量儀器
- 醫(yī)療檢查設(shè)備等
性能對(duì)比（TS-150/LP）：
– 振動(dòng)加速度對(duì)比
右側(cè)數(shù)據(jù)顯示TS-150/LP的隔振性能，水平(X, Y) 和垂直(Z)。
藍(lán)線: 地面振動(dòng)加速度
紅線: TS-150/LP表面安裝板加速度
– 振動(dòng)傳遞率
右側(cè)數(shù)據(jù)顯示地面到TS-150/LP表面安裝板的振動(dòng)傳遞率，水平(X, Y) 和垂直(Z)。
垂直軸: 傳遞率，單位：dB
(20 dB = x 10、0 dB = x 1、-20 dB = x 0.1、 -40 dB = x 0.01、-60 dB = x 0.001)
該數(shù)據(jù)表明主動(dòng)隔振系統(tǒng)在1 Hz -100 Hz 低頻范圍內(nèi)具有優(yōu)異的隔振性能。
桌面式主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)-桌面式主動(dòng)防振臺(tái)-Herz TS Series技術(shù)參數(shù)：
結(jié)合隔音箱，創(chuàng)造測量環(huán)境：
對(duì)于原子或分子研究，如掃描電子顯微鏡， TS系列主動(dòng)隔振系統(tǒng)至關(guān)重要。此外，不僅要考慮振動(dòng)，還應(yīng)考慮聲學(xué)抑制。我們所生產(chǎn)的AEk 隔音箱適用于超高分辨率應(yīng)用，如SPM。將 AEk和TS系列整合可提供的測量環(huán)境。
搭配 AEK-2002 隔音箱：AEK系統(tǒng)采用多層可變密度隔聲材料層，可有效隔離寬頻帶噪聲。
TS 應(yīng)用示例：
