等離子廢氣凈化器在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使有毒有害物質轉變成無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。
等離子光氧催化一體機特點
（1） 廢氣和惡臭氣體進入集成設備后，經過UV紫外光束區時，被紫外光波 率地照射，瞬間產生光解反應，打開廢氣和臭味污染物分子的化學鍵，破壞其分子結構和核酸；利用 紫外光波分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，使呈游離狀態的污染物分子與臭氧氧化結合成小分子無害或低害的化合物。如CO2、H2O 等。 UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。
（2） 廢氣和惡臭氣體經過等離子體電場區，在納秒級時間范圍內，等離子猛烈轟擊廢氣和臭味等污染物分子，產生裂變分解反應，產生高濃度各種活性自由基、電子、離子等，同時產生大量臭氧、原子氧、生態氧等混合氣體，進行一系列復雜的分化裂解和氧化還原反應；
（3） UV紫外光解與等離子分解如此協同地產生一系列光解和分解反應，經過復合式多級凈化后從而達標排放！既能凈化治理各種有害廢氣，又能干凈地去除各種惡臭味道。
通過較為成熟的光氧催化技術來實現對有機廢氣的凈化處理，在這個波長區域中，由于154-185nm的波長相對較短所以有機廢氣處理反應的空間范圍也較小，利用活性炭吸附技術和UV紫外光解技術相結合，對廢氣和臭氣進行協同凈化處理！
等離子光氧催化一體機光氧處理技術微波廢氣處理是微波廢氣處理技術的升級，微波加熱和催化劑加快化學反應進程，凈化廢氣分子鏈的專業技術，利用特制高能量高臭氧紫外光束照射廢氣，分解工業紫外線凈化廢氣分子鏈的專業技術，利用特制高能量高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，分解工業廢氣，如VOC類、苯類、烴類、醇類、酯類、酮類、酮類等多種有機廢氣，處理效果好，運行成本低，有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈利用高能量高臭氧紫外光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，由于游離氧帶有正負電子不平衡，因此需要與氧分子結合，產生臭氧。
