英國HHV科研用真空鍍膜系統(tǒng) Auto500,Ats500

適合研究開發(fā)需求的多功能系統(tǒng)平臺

ATS 500 AUTO 500

Auto500是一套多功能的真空鍍膜系統(tǒng)平臺，主要用于科學(xué)研究、技術(shù)開發(fā)或試生產(chǎn)。其真空腔室采用了前開門的箱式設(shè)計，可以容納大尺寸樣品。通過可選擇的設(shè)備配置能分別實現(xiàn)熱阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)及磁控濺射等各種物理氣相沉積工藝，甚至也可以將前面三種鍍膜工藝同時組合在一臺設(shè)備里。
真空腔室安放在內(nèi)部裝載有真空泵系統(tǒng)的基座上。系統(tǒng)的真空系統(tǒng)由觸摸屏操作顯示的PLC自動控制。PLC顯示操作面板以及其他工藝附件的控制面板都集中安裝在真空腔室旁邊的19”標(biāo)準(zhǔn)控制機(jī)柜上，操作十分方便。

Auto500既可以只配置單個鍍膜源，也可以配置成多個不同的鍍膜源，其工藝配置靈活性非常高，并且也很容易進(jìn)行現(xiàn)場升級。
Auto500還可以配置一系列樣品承載臺，可實現(xiàn)樣品旋轉(zhuǎn)、傾斜、加熱、冷卻、偏壓等。
真空系統(tǒng)可選無油干泵、分子泵及低溫冷凝泵等。

ATS500系統(tǒng)配置觸摸屏控制方式和分子泵高真空系統(tǒng)。

ATS500系統(tǒng)為復(fù)雜薄膜應(yīng)用而設(shè)計，配合不同工藝附件適用于不同應(yīng)用。

真空及控制系統(tǒng)：

觸摸屏控制系統(tǒng)集成在19”寬的標(biāo)準(zhǔn)控制機(jī)柜中，觸摸屏系統(tǒng)可以自動控制真空系統(tǒng)和各種工藝附件的工作。

?。帶人機(jī)接口的PLC自動真空控制系統(tǒng)

?。7英寸彩色觸摸屏

?。工藝菜單可以自動控制鍍膜過程，包括鍍膜源，開關(guān)，基片臺旋轉(zhuǎn)，基片臺加熱和其他相關(guān)工藝附件（針對所選附件）

?。工藝真空顯示，流量控制顯示（針對所選附件）

?。真空閥位置,泵狀態(tài)和聯(lián)鎖狀態(tài)

?。警報或錯誤消息

?。 USB端口. csv文件格式處理數(shù)據(jù)日志記錄

?。以太網(wǎng)端口的遠(yuǎn)程支持和診斷

系統(tǒng)操作模式:

? 自動模式，按照工藝菜單運(yùn)轉(zhuǎn)

? 手動模式，按照需求進(jìn)行工藝過程配置

? PLC中的關(guān)鍵設(shè)置密碼保護(hù)

ATS500系統(tǒng)具有高產(chǎn)能真空系統(tǒng)，包括：

? Edwards XDS20i型無油干泵，用于腔室粗抽真空以及分子泵的前級預(yù)抽泵

? Leybold Turbovac 600C 560l/s 型渦輪分子泵

? 渦輪分子泵通過ISO160真空法蘭安裝在真空室的后部

? 使用皮拉尼規(guī)和冷電離潘寧規(guī)監(jiān)控系統(tǒng)壓力

? 具有完善的互鎖設(shè)計，確保操作人員的安全。

真空腔室：

帶水冷的真空腔室尺寸是500mm寬/直徑，500mm高，采用304無磁不銹鋼制造。腔室采用

前方開門設(shè)計，門上安裝有工藝觀察窗

潛望鏡結(jié)構(gòu)設(shè)計的玻璃擋片裝置，可以觀察腔室內(nèi)部

配置有一套可拆卸清洗的不銹鋼腔室內(nèi)襯板，便于腔室內(nèi)壁的保護(hù)

腔室后部有一個ISO160真空法蘭連接真空系統(tǒng)

腔室底板焊接到底部法蘭，不可拆卸

極限真空可達(dá)5E-7Torr。