激光干涉儀
隨著我國制造業的快速發展，對數控機床的精度要求越來越高，如何檢測機床的精度，成為制造廠家和用戶在驗收與維護機床時都非常關注的問題。
數控機床的精度指標分：幾何精度、位置精度、定位精度、分度精度、重復定位精度、回零精度。
1、數控機床的幾何精度反映機床的關鍵機械零部件（如床身、溜板、立柱、主軸箱等）的幾何形狀誤差及其組裝后的幾何形狀誤差，包括工作臺面的平面度、各坐標方向上移動的相互垂直度、工作臺面X、Y坐標方向上移動的平行度、主軸孔的徑向圓跳動、主軸軸向的竄動、主軸箱沿z坐標軸心線方向移動時的主軸線平行度、主軸在z軸坐標方向移動的直線度和主軸回轉軸心線對工作臺面的垂直度等。常用檢測工具有精密水平尺、精密方箱、千分表或測微表、直角儀、平尺、高精度主軸芯棒及千分表桿磁力座等。
2、數控機床的定位精度，是指所測機床運動部件在數控系統控制下運動時所能達到的位置精度。該精度與機床的幾何精度一樣，會對機床切削精度產生重要影響。測量直線運動的檢測工具有：標準長度刻線尺、成組塊規、測微儀、光學讀數顯微鏡及激光干涉儀等。標準長度測量以激光干涉儀的測量結果為準?；剞D運動檢測工具有360齒精密分度的標準轉臺或角度多面體、高精度圓光柵和平行光管等。
目前各機床公司通用的檢測儀采用SJ6000激光干涉儀；在機床處于運動狀態下對機床的定位精度進行測量；機床的螺距誤差補償方式包括線性軸補償和旋轉軸補償這兩種方式，可對直線軸和旋轉工作臺的定位精度分別補償。進行螺距誤差補償時，先測量再補償，補償后再測量，并應按相應的分析標準（VDI3441、JIS6330或GB10931-89）對測量數據進行分析，直到達到機床的定位精度要求。
