特點：
1.方晶和1”圓晶MEMS釋放后的超臨界點干燥儀；
2.通過微處理控制器來保證自動處理過程的進(jìn)行及結(jié)果的可重復(fù)性；
3.電磁閥門以及密封適用于LCO2、乙醇及丙酮；
4.內(nèi)表面適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇和丙酮；
5.可重復(fù)設(shè)定操作參數(shù)確保了結(jié)果的可重復(fù)性；
6.每次運(yùn)行可以處理5×10mm的方晶或5×1”的圓晶，（提供可以兼容HF的樣品架，方便處理樣品）；
7.集成自動控溫；
8.內(nèi)置圓盤裂片保證安全；
9.每個操作模式LED顯示，一目了然；
10.潔凈室和防靜電兼容設(shè)計；
11.的固態(tài)電子系統(tǒng)；
12.高效隔熱冷卻系統(tǒng)：在90秒內(nèi)可以把樣品室從室溫冷卻到操作所需溫度；
13.靜態(tài)壓力控制模塊，自動控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性；
14.0.4μm內(nèi)部過濾器系統(tǒng)輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室；
15.內(nèi)腔有照明燈，樣品室蓋子帶觀察窗，便于觀察樣品室內(nèi)部狀態(tài)；
16.微型計量閥門帶游標(biāo)卡尺，可實現(xiàn)重復(fù)設(shè)定及控制流速;
17.標(biāo)配SOTERTM冷凝器，分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。
18.所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn)；
規(guī)格：
1.外部尺寸：寬14.0” (35.6 cm) × 高10.25” (26.0 cm) × 長21.5” (54.6cm)；
2.占地尺寸：寬36” (92 cm) × 深30” (76 cm)；
3.樣品室尺寸：內(nèi)徑1.25” × 深1.25”; 樣品室容積：25ml
4.溫度范圍：- 30 ℃ 至 60 ℃，壓力范圍：0 - 2000 psi；
5.Purge時間范圍：0-45 min
6.120V/50-60HZ(可選其他電壓)；
標(biāo)準(zhǔn)配件：
1.高壓不銹鋼LCO2管（內(nèi)襯Teflon） 3 米長；
2.外部LCO2過濾裝置，去除水/油以及顆粒（小至0.5μm），過濾裝置可預(yù)先與LCO2管連接，安裝方便；
3.SOTERTM冷凝器，分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳，降低排氣噪音；
4.防靜電排氣管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣；
5.內(nèi)部的不銹鋼過濾系統(tǒng)和鍍鎳的過濾系統(tǒng)共同保護(hù)線路、晶片和閥門
6.流量計，可精確控制BLEED的排氣速率；
7.樣品室O型圈2個，樣品室照明燈2個，5A保險絲2個；
8.HF兼容的10mm方晶PTFE插片架，每次操作最多能裝載5個晶片
9.安裝工具一套
10.用戶手冊；
11.所有部件一年質(zhì)保。
