日韩午夜在线观看,色偷偷伊人,免费一级毛片不卡不收费,日韩午夜在线视频不卡片

產(chǎn)品|公司|采購|招標

廣電計量檢測集團股份有限公司

IBE-200Z離子束刻蝕機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱北京金盛微納科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/12/4 17:06:58
  • 訪問次數(shù)647
產(chǎn)品標簽:

在線詢價收藏產(chǎn)品 點擊查看電話

       北京金盛微納科技有限公司為國家、中關村,中國真空學會理事單位,中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會、中國微米納米技術學會會員單位。主要從事半導體設備、微細加工設備的產(chǎn)品研制、設計開發(fā)、生產(chǎn)銷售,并開展相關工藝的研究及應用。主要產(chǎn)品有:勻膠機(SC)、烘膠臺(BP)、曝光機、刻蝕機(RIE、ICP、IBE)、等離子體淀積臺(PECVD)、磁控濺射臺(Sputter)、去膠機、濺射/刻蝕/淀積一體機、鍵合爐等。產(chǎn)品應用范圍涉及微電子、光電子、LED、MEMS、傳感器、平板顯示、通訊等領域,主要用于科研機構、大專院校、生產(chǎn)企業(yè)和公司進行各種器件的研究、開發(fā)和批量生產(chǎn)。公司建有“微細加工工藝示范線”以“開放實驗室”的形式對各大專院校、研究院所、企業(yè)等相關研究、生產(chǎn)單位開放。在“開放實驗室”里用戶可獲得:設備選型、項目預研與立項、合作攻關、工藝培訓、外協(xié)加工等服務支持。


公司特點

產(chǎn)品成線:公司可提供面向用戶研發(fā)與生產(chǎn)的工藝線上的核心設備,從勻烘系列、光刻系列、刻蝕系列、鍍膜系列、去膠、鍵合系列到組合設備。設備產(chǎn)品成線奠定了產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)過程中設備的協(xié)同,提供了研發(fā)和生產(chǎn)有效的工藝、工序保障。

產(chǎn)品立體化:公司依據(jù)不同科研單位、大專院校和生產(chǎn)企業(yè)的需求,生產(chǎn)標準(手動)設備、自動設備、具有LOAD-LOCK功能的全自動設備,以及為特定用戶個性化生產(chǎn)的組合設備。以此形成滿足不同層面、不同個性化需求的立體化設備產(chǎn)品體系,自動化設備以及內嵌的專家工藝,為產(chǎn)品生產(chǎn)的穩(wěn)定性、工藝的重復性提供了有效的硬件基礎,使之更好地應用于科研和生產(chǎn)。

產(chǎn)品與工藝配套:依托公司完備的設備基礎和優(yōu)勢的工藝力量,公司在產(chǎn)品設備上,開發(fā)了相應工藝,使之達到設備和工藝的結合,讓用戶獲得效果及解決方案。公司的“開放試驗室”還可提供完善、便捷的售后服務、技術支持,由此形成了既無前憂又無后顧的產(chǎn)品服務環(huán)境,成為公司產(chǎn)品占有市場的又一利器。


本產(chǎn)品是利用低能量平行Ar+離子束對基片表面進行轟擊,表面上未被掩膜覆蓋部分的材料被濺射出,從而達到選擇刻蝕的目的,它采用純物理的刻蝕原理
IBE-200Z離子束刻蝕機 產(chǎn)品信息
本產(chǎn)品是利用低能量平行Ar+離子束對基片表面進行轟擊,表面上未被掩膜覆蓋部分的材料被濺射出,從而達到選擇刻蝕的目的,它采用純物理的刻蝕原理。離子束刻蝕是目前所有刻蝕方法中分辨率,陡真性方法,它可以對所有材料進行刻蝕,例如:金屬、合金、氧化物、化合物、混合材料、半導體、絕緣體、超導體等。

詳細描述

本產(chǎn)品采用口徑φ200mm考夫曼型離子源,通過結構的雙鉬柵離子光學系統(tǒng)及SHAG技術保證在φ150mm范圍內束流的均勻性為±5%,電子中和系統(tǒng)可使樣片上的電荷積累為零。

本設備的刻蝕工作臺可繞工作中心自轉,離子束入射角可在0~90°之間任意調整。

本設備具有刻蝕速率穩(wěn)定、均勻性好、重復性好等特點,可廣泛應用于微電子、光電子、通訊等領域的器件研發(fā)和制造。

自動控制系統(tǒng)采用工控計算機及PLC控制、觸摸顯示屏操作,實現(xiàn)真空系統(tǒng)及工藝過程自動化。本機可選擇全自動及非全自動模式。


產(chǎn)品主要性能指標

型號

IBE-200Z

真空系統(tǒng)

分子泵機組

刻蝕室數(shù)量

單刻蝕室

刻蝕室規(guī)格

435×406×490mm

工作臺尺寸

?200mm(片徑≤6英寸)

離子束入射角

0~90°之間任意調整

刻蝕速率

100?~2000?/min(與刻蝕材料和工藝有關)

刻蝕不均勻性

≤±5%

Ar+離子能量范圍

100~1000eV,連續(xù)可調

離子束流密度

0~1mA/cm2,連續(xù)可調

有效離子束直徑

≥?100mm(屏柵極直徑?150mm)

電子中和

帶有熱絲結構的電子中和裝置


關鍵詞:工作臺
15700106413
產(chǎn)品對比
QQ

咨詢中心

在線客服QQ交談

市場部QQ交談

發(fā)布詢價建議反饋
回到頂部

Copyright hbzhan.comAll Rights Reserved

環(huán)保在線 - 環(huán)保行業(yè)“互聯(lián)網(wǎng)+”服務平臺

對比欄

提示

×

*您想獲取產(chǎn)品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個人信息:

主站蜘蛛池模板: 普安县| 合山市| 浑源县| 土默特右旗| 香格里拉县| 元朗区| 行唐县| 宁南县| 梅州市| 桓台县| 公主岭市| 五指山市| 来安县| 泸州市| 布尔津县| 桑植县| 锡林浩特市| 恭城| 卢湾区| 武汉市| 湾仔区| 宜良县| 区。| 怀化市| 新干县| 巴马| 广饶县| 雷波县| 哈密市| 西峡县| 林西县| 潞城市| 西乡县| 福安市| 临城县| 白河县| 龙游县| 广安市| 敦化市| 宁波市| 临夏县|