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半導體晶元磨床

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱東莞瀚喬機械有限公司
  • 品       牌
  • 型       號SIG-V4
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/12/4 15:47:57
  • 訪問次數(shù)171
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東莞市瀚喬機械有限公司,以日本工作機械及超硬合金材料銷售為主業(yè)。 自公司設立以來,始終將對客戶的服務放在“客戶至上,共謀發(fā)展,精益求精,服務”是我們的經(jīng)營宗旨,在同行中已取得了良好的商業(yè)信譽和口碑;經(jīng)過我們的堅持不懈努力,我公司產(chǎn)品銷往全國各地,建立了滿足客戶要求的短期交貨體制和售后服務團隊,我們將竭誠為您服務!
半導體晶元磨床
半導體晶元磨床 產(chǎn)品信息

日本W(wǎng)AIDA高剛性半導體晶元平面磨床

用途及材料

用來研磨半導體相關材料的半導體晶圓平面研磨床,其以藍寶石基板、SiC基板和陶瓷等硬脆性材料為主

特點

具有以往所沒有的優(yōu)異機械剛性

具有高剛性,可抑制加工中的負面因子,同時兼具高效率和低損壞姓

具有高剛性,可擴增工作臺的直徑,亦可用於6吋晶圓的批量加工

透過非接觸式的厚度檢測來測量加工品輪廓,亦能以高可靠度支援批量加工

以砂輪進行無打磨加工,維持穩(wěn)定的品質,並降低停機時間

拋光用貼付板的自動搬送系統(tǒng)

加工程式能以配方管理執(zhí)行簡單操作

半導體晶圓平面研磨床 加工實例


延伸閱讀:

晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構,而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,化,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達99.999999999%。

制造過程

晶圓是制造半導體芯片的基本材料,半導體集成電路最主要的原料是硅,因此對應的就是硅晶圓。

硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式廣泛存在于巖石、砂礫中,硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟:硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型。

首先是硅提純,將沙石原料放入一個溫度約為2000 ℃,并且有碳源存在的電弧熔爐中,在高溫下,碳和沙石中的二氧化硅進行化學反應(碳與氧結合,剩下硅),得到純度約為98%的純硅,又稱作冶金級硅,這對微電子器件來說不夠純,因為半導體材料的電學特性對雜質的濃度非常敏感,因此對冶金級硅進行進一步提純:將粉碎的冶金級硅與氣態(tài)的進行氯化反應,生成液態(tài)的硅烷,然后通過蒸餾和化學還原工藝,得到了高純度的多晶硅,其純度高達99.999999999%,成為電子級硅。

接下來是單晶硅生長,的方法叫直拉法。如下圖所示,高純度的多晶硅放在石英坩堝中,并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱,溫度維持在大約1400 ℃,爐中的空氣通常是惰性氣體,使多晶硅熔化,同時又不會產(chǎn)生不需要的化學反應。為了形成單晶硅,還需要控制晶體的方向:坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉,把一顆籽晶浸入其中,并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉,同時慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。熔化的多晶硅會粘在籽晶的底端,按籽晶晶格排列的方向不斷地生長上去。因此所生長的晶體的方向性是由籽晶所決定的,在其被拉出和冷卻后就生長成了與籽晶內(nèi)部晶格方向相同的單晶硅棒。用直拉法生長后,單晶棒將按適當?shù)某叽邕M行切割,然后進行研磨,將凹凸的切痕磨掉,再用化學機械拋光工藝使其至少一面光滑如鏡,晶圓片制造就完成了。

晶圓制造

單晶硅棒的直徑是由籽晶拉出的速度和旋轉速度決定的,一般來說,上拉速率越慢,生長的單晶硅棒直徑越大。而切出的晶圓片的厚度與直徑有關,雖然半導體器件的制備只在晶圓的頂部幾微米的范圍內(nèi)完成,但是晶圓的厚度一般要達到1 mm,才能保證足夠的機械應力支撐,因此晶圓的厚度會隨直徑的增長而增長。

晶圓制造廠把這些多晶硅融解,再在融液里種入籽晶,然后將其慢慢拉出,以形成圓柱狀的單晶硅晶棒,由于硅晶棒是由一顆晶面取向確定的籽晶在熔融態(tài)的硅原料中逐漸生成,此過程稱為“長晶”。硅晶棒再經(jīng)過切段,滾磨,切片,倒角,拋光,激光刻,包裝后,即成為集成電路工廠的基本原料——硅晶圓片,這就是“晶圓”。


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