這款大型光譜橢偏儀SE200BM-M450具有450mm直徑樣品臺，提供更為安全的樣品操作和定位，具有250-850nm的波長范圍，是美國Angstrom公司為大尺寸樣品薄膜厚度測量而設計的美國進口光譜橢偏儀,Spectroscopic,Ellipsometer,具有高性價比橢偏儀價格和橢偏儀品牌。
與反射計或反射光譜技術不同的是，光譜橢偏儀參數Psi 和Del并非在常見入射角下獲得。通過改變入射角大小，可獲得許多組數據，這樣就非常有助于優化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力，因此變角橢偏儀功能遠遠大于固定角橢偏儀。
改變橢偏儀入射角的方法有兩種，一種是手動調節，一種是自動調節入射角，我們可提供兩種模式的橢偏儀。
大型光譜橢偏儀特色
特別為大尺寸晶圓等樣品薄膜測量而設計
易于安裝，拆卸和維護
*的光學設計
自動改變入射角，入射角分辨率高達0.01度
高功率光源適合多種應用
采用陣列探測器確保高速測量
測量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于實或在線監測薄膜厚度和折射率
具有齊全的光學常數數據庫
提供工程師模式，服務模式和用戶模式三種使用模式
靈活的工程師模式用于各種安裝設置和光學模型測量
一鍵快速測量
全自動標定和初始化
精密樣品準直界面直接樣品準直，不需要額外光學
精密高度和傾斜調整
適合不同材料和不同后的樣品襯底基片
2D和3D數據顯示輸出
大型光譜橢偏儀參數
波長范圍：250-850nm
波長分辨率：1nm
測量點大小：1-5mm可調
入射角：0-90度可調
入射角分辨率：5度
可測樣品大小：高達450mm 直徑
可測樣品厚度：高達2mm
測量薄膜厚度：0nm ---20um
測量時間：~1s/點
精度：~0.25%
重復精度：<1A
大型光譜橢偏儀可選配件
反射或透射光度測量配件
微點測量小面積
X-Y位移臺用于厚度繪圖
加熱臺/制冷臺用于薄膜動力學研究
垂直樣品安裝測角計
波長拓寬到IR范圍
掃描單色儀配置
孚光精儀公司品牌源于早期的東歐地區和德國進口光學材料和儀器的進口服務。公司創始股東們足跡遍布捷克，愛沙尼亞，羅馬尼亞，白俄羅斯，立陶宛,法國，英國，意大利，奧地利，丹麥，比利時，以及德國 漢堡，法蘭克福，柏林，慕尼黑，紐倫堡，德累斯頓等科技強國和強市，對整個歐洲特別是東歐和德國的技術產品和精密儀器的質量有可靠的把握。長期以來，德國在科學研究、技術創新和儀器研發領域具有的優勢。德國的科學儀器以技術*，質量可靠而著稱。孚光精儀早期專注于選擇德國和東歐國家可靠的供應商，為用戶提供了道質量保障。公司派送員工前往原廠進行技術培訓，從而具備為遠東地區用戶提供快速高效的技術服務能力，這一舉措深得用戶和制造商的高度贊譽。因此，孚光精儀的事業在服務客戶的同時獲得超常發展,快速成長為*儀器的規模型供應商和技術服務商。目前，孚光精儀已經把產品原產地擴展到整個歐洲和美國，形成了以歐洲和美國為供貨來源地的良好局面。
大型光譜橢偏儀 產品信息
