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廣電計量檢測集團股份有限公司

白光干涉儀ZeGageplus 光學輪廓儀

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海洛豐精密檢測儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號ZeGage plu
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/11/28 14:55:34
  • 訪問次數518
產品標簽:

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上海洛豐精密檢測儀器有限公司自2013年成立以來,通過與世界各儀器(如德國ZEISS,美國ZYGO干涉儀,美國菲思圖硬度計,三豐量具量儀,英國泰勒檢測儀,德國菲希爾測厚儀等)公司的良好合作,以及自身良好的經營理念,服務質量,已成為國內優質的檢測儀器供應商.我們秉承為客戶提供良好檢測儀器的宗旨,已經為中船重工,航空航天,高校(東南大學、浙江工業大學、南京理工大學等),研究所(上海615研究所、上海811研究所、中航614所等)外企(德爾福、輝門、西門子、博世等)及民營企業(華為、瑞聲集團、立訊集團、水晶光電等)提供了大量高附加值的精密檢測儀器及*的檢測方案.公司擁有一支專業的銷售及服務團隊,可以為不同客戶提供各類精密檢測產品的技術咨詢,設備改造,維修維護,培訓校準等技術服務.洛豐始終以"客戶至上,誠信為本"的企業精神,愿意與各行各業的用戶進行廣泛的交流與合作,共同進步,共同發展。
ZeGage Plus系列的3D光學表面輪廓儀可以提供強大的多功能的非接觸式光學表面形貌測量分析。所有的測量都無損、快速,并且不需要樣品制備。強大的分析軟件可以極其精準的描繪和定量分析表面粗糙度、臺階高度、關鍵尺寸和其它形貌特征。
白光干涉儀ZeGageplus 光學輪廓儀 產品信息

系統參數:

原理非接觸、三維白光掃描干涉儀

掃描裝置: 長范圍 Z 軸調節

物鏡: 1X - 50X 放大:標準工作距離2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x;長工作距離:1x, 2x, 5x, 10x,詳見物鏡參數表
視場: 跟所選物鏡有
光源: 長壽命白光 LED,計算機控制光強
物鏡安裝:直接螺紋安裝(標配);單物鏡楔形座安裝(選配);手動或電控 4 位物鏡塔臺(選配)
輔助聚焦: 軟件控制輔助聚焦
測量陣列: 1024×1024,512×512,256×256,1024×160
樣件觀察: Mx 軟件集成實時觀察
Z 軸: 100mm 行程,主機頭具有兩種可選安裝高度,以優化工作距離
樣品臺控制: USB 控制器
安全性: 系統集成緊急制動功能
樣品臺: 手動,俯仰傾斜±4°,集成 T 型槽板利于固定附件(標配) 手動型:XY 平移 50 x 100 mm(-01,-11);電動型:
XY 平移 100 x 100 mm(-02,-12)
計算機: i5 級別 PC,23 寸顯示器 1080p
軟件: ZYGO Mx 軟件,Windows7(64 位)
尺寸(HWD): 系統:156×127×76cm; 工作桌:74x127x76cm; ZeGage 主機:82x53x53cm
重量: ZeGage Plus主機:54Kg; 工作臺:37Kg
性能:
縱向掃描范圍:≤ 20 mm,(受限于物鏡工作距離)
表面形貌重復性:<0.15nm
光學分辨率(橫向):0.52um (50x 物鏡)
空間采樣: 0.17um(50x 物鏡)
掃描速度: ≤ 73 um/秒
臺階高度重復性:≤0.3%@1σ
臺階精度: ≤ 3%
被測樣品特性:
材料: 各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射
尺寸(HWD):87 x 100 x 100mm 標準主機頭位置;147 x 100 x 100mm 主機頭加高采用局部覆蓋放置可以測試更大的樣品
反射率:0.05%-99%
環境要求:
溫度: 15-30℃  <1.0°C/15 分鐘
濕度: 相對濕度 5%-95%,無凝結
隔振: 包含隔振,要求隔離 1-120Hz 振動
振動準則: VC-C 或有更好的推薦
15700106413
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