主要特點:
高亮度場發(fā)射電子槍冷
冷場發(fā)射電子槍先天具有的高亮度和高能量分辨率的特點,使納米量級分析研究成為可能,對超高分辨圖像和電子全息攝影具有極大貢獻。
300kV高壓系統(tǒng)
300kV高壓系統(tǒng)具有更高的穿透能力,保證了厚樣品的原子分辨率圖像,降低了樣品制備難度,尤其對于金屬、陶瓷等高原子序數(shù)樣品的觀測十分有利。
的分析能力
新引入了雙重雙棱鏡全息攝影功能、高空間分辨率電子能量損失譜(EELS)和高精度平行納米束衍射技術等的分析技術。
可與FIB聯(lián)用樣品桿
日立公司專有的樣品桿可適應FIB、TEM和STEM的使用。
簡便易用的控制系統(tǒng)
基于Windows開發(fā)的電腦控制系統(tǒng)、馬達驅(qū)動可動光闌和5軸馬達樣品臺使得儀器簡單易用,10分鐘的升壓時間和1分鐘的換樣時間保證了儀器高效率的運轉(zhuǎn)。