ATTO10+1800手套箱一體鍍膜機

產(chǎn)品特點

既保證了高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，又在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。

該系統(tǒng)具有高真空壓力和抽空時間測試。

具有*編程能力的行業(yè)軟件控制系統(tǒng)，系統(tǒng)的靈活性，

可以被配置為濺射系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)，OLED系統(tǒng)，熱蒸發(fā)系統(tǒng)或這些過程的任何組合。

可以集成各種光學(xué)和光譜技術(shù)，并將系統(tǒng)集成到需要惰性氣氛的研究手套箱中。

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體工業(yè)中MOCVD技術(shù)、微電子半導(dǎo)體、OLED/PLED開發(fā)與生產(chǎn)、鋰離子電池開發(fā)與生產(chǎn)、納米材料研究、催化劑研究、鈣鈦礦太陽能電池的研發(fā)。