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PlasmaPro 80 RIE 牛津等離子體刻蝕機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱深圳市藍星宇電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/11/17 17:18:08
  • 訪問次數205
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深圳市藍星宇電子科技有限公司,經過十多年的紫外光專業技術沉淀,可以根據客戶特殊要求提供定制化服務,研發設計組裝:紫外臭氧清洗機(UV清洗機),準分子清洗機,等離子清洗機/去膠機等科研以及生產設備,擁有自主品牌及注冊商標。 同時我們代理歐美日多家高科技設備廠家高性價比產品, 始終堅持創新, 技術, 服務, 誠信的企業文化,為廣大中國及海外客戶提供的儀器設備和材料的整體解決方案。 應用領域: 半導體/微納,光電/光學, 生命科學/生物醫療等領域的研發和生產, 客戶群體例如高等院校, 研究所,科技企業及醫療機構等。 半導體/微納,光電/光學 產品主要有: 德國ParcanNano(Nano analytik)針尖光刻機,電子束光刻機, 激光直寫光刻機,紫外光刻機,微納3D打印機,德國Sentech刻蝕機/鍍膜機及原子沉積,英國HHV磁控/電子束/熱蒸發鍍膜機,微波離子沉積機MPCVD,芬蘭Picosun原子層沉積機,電子顯微鏡, 德國Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質譜/波譜儀,美國Sonix超聲波顯微鏡, 德國耐馳Netzsch熱分析儀, 德國Optosol吸收率發射率檢測儀, 日本SEN UV清洗機/UV清洗燈,美國Jelight紫外清洗機/紫外燈管,德國Diener等離子清洗機等*技術產品。 生命科學/生物醫療 產品主要有:PCR儀,核酸質譜儀/核酸檢測儀,電子顯微鏡,紫外設備,光譜/色譜/質譜/波譜儀,生物芯片,試劑,實驗耗材等。 并可依據客戶需求,研發定制相關產品。我們以高性價比的優勢為客戶提供優質的產品與服務,為高等院校, 研究所,科技企業及醫療機構等客戶提供儀器設備和材料。
PlasmaPro 80 RIE 牛津等離子體刻蝕機,是一種結構緊湊、小尺寸且使用方便的直開式系統,可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案。 它易于放置,便于使用,且能確保工藝性能。直開式設計可實現快速晶圓裝卸,是研究和小批量生產的理想選擇。 它通過優化的電極冷卻和出色的襯底溫度控制來實現高質量的工藝。
PlasmaPro 80 RIE 牛津等離子體刻蝕機 產品信息

牛津等離子體刻蝕機PlasmaPro 80 RIE

PlasmaPro 80是一種結構緊湊、小尺寸且使用方便的直開式系統,可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案。 它易于放置,便于使用,且能確保工藝性能。直開式設計可實現快速晶圓裝卸,是研究和小批量生產的理想選擇。 它通過優化的電極冷卻和出色的襯底溫度控制來實現高質量的工藝。

。直開式設計允許快速裝卸晶圓
。出色的刻蝕控制和速率測定
。出色的晶圓溫度均勻性
。晶圓可達200mm
。購置成本低
。符合半導體行業 S2 / S8標準

應用:

· III-V族材料刻蝕工藝

· 硅 Bosch和超低溫刻蝕工藝

· 類金剛石(DLC)沉積

· 二氧化硅和石英刻蝕

· 用特殊配置的PlasmaPro FA設備進行失效分析的干法刻蝕解剖工藝,可處理封裝好的芯片, 裸晶片,以及200mm晶圓

· 用于高亮度LED生產的硬掩模的刻蝕

系統特點

· 小型系統 —— 易于安置

· 優化的電極冷卻系統 —— 襯底溫度控制

· 高導通的徑向(軸對稱)抽氣結構 —— 確保能提升工藝均勻性和速率

· 增加<500毫秒的數據記錄功能 —— 可追溯腔室和工藝條件的歷史記錄

· 近距離耦合渦輪泵 —— 抽速高迅速達到所要求的低真空度

· 關鍵部件容易觸及 ——系統維護變得直接簡單

· X20控制系統——大幅提高了數據信息處理能力, 并且可以實現更快更可重復的匹配

· 通過前端軟件進行設備故障診斷 —— 故障診斷速度快

· 用干涉法進行激光終點監測 —— 在透明材料的反射面上測量刻蝕深度 (例如硅上的氧化物),或者用反射法來確定非透明材料(如金屬)的邊界

· 用發射光譜(OES)實現較大樣品或批量工藝的終點監測 —— 監測刻蝕副產物或反應氣體的消耗量的變化,以及用于腔室清洗的終點監測

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