GSL1100X-SPC16-3 等離子3靶濺射儀是一款經過CE認證的緊湊型等離子鍍膜機。本機是依據二極(DC)直流濺射原理設計而成的，、可靠、經濟的鍍膜設備。它的特別之處是在一個真空室內設計安裝了三個靶。旋轉樣品臺，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料。適用于實驗室的各種復合膜樣品制備，及非導體材料實驗電極制作。
技術參數
| 電源電壓 | 220V , 50/60 Hz |
| 輸出功率 | - < 2000W (including pump)
- 離子電流表：電流：50mA 定時器：最長時間900s
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| 輸出電壓(DC) | 1600V |
| 樣品室 | 石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height |
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樣品載物臺 | - 一個外徑50 mm 的樣品臺, 可以移動三個位置
- 濺射面積: 45 mm
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| 配件
| - 120 L/m的雙旋片式機械真空泵，進行抽真空
- 進氣口處安裝有儲氣球，防止泵油的回流，排氣口安裝有立式油污過濾器，可以過濾真空泵在工作時產生的油煙，減少泵油的損耗，和保護環境，和人體健康
- 不銹鋼波紋管與 KFD-25接口相連用
- 高純度金箔靶
- 系統需要一個帶壓力調節器的氬氣瓶，但我們不提供
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| 可通入氣體 | - 多種 氣壓：-1600（-3000）DCV
- 微型真空氣閥：可連接Φ3mm軟管
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靶材 | 標配靶材: - Au target: 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
- Cu target: 47 mm dia. x 2.25 mm, 1pcs
- Al target: 47 mm dia. x 3mm, 1pcs
可選靶材 - Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N) available at $1590/ea
- Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N) available at $495/ea
- Graphite target (47mm dia.x 1.0 mm, 4N) available at $295/ea
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| 設備特點 | - 配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表，用以指示、監控儀器狀態；
- 濺射電流調整控制器、微型真空氣閥。在工作時結合內部自動控制電路很容易控制真空室壓強、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體，獲得鍍膜效果；
- 特殊設計的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長期使用不會出現影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現象；
- 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經久耐用；
- 根據電場中氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
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| 外形尺寸 | 400mm × 300mm × 400mm（L×W×H） |
| 凈重 | 50 kg |
| 質保期和質量認證 | 一年質保期，終身維護 |
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