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設備主管路主要是通各種特種氣體，需做測試項目有：耐壓測試、保壓測試、氦檢測試、水分測試、氧分測試、顆粒測試。
1、耐壓測試目的：管道在承受高壓后銜接點不會外漏，以確保所有人員的安全。另外管路中的高壓可以偵測出焊道上是否有沙孔存在（沙孔會因為過高的壓力造成泄露）。
2、保壓測試目的：確保管路輸送系統沒有明顯的泄漏，以便對管路系統進行氦測漏。
3、氦質譜檢漏測試目的：利用氦質譜儀感測漏入系統中的微量的氦氣來測漏，并根據檢測到的氦氣的量來確定漏率的大小。
4、水分、氧分、顆粒檢測（三臺儀器并聯使用）
1）水分檢測的目的主要是為了避免管道內水含量過高時，會發生化學反應，對制程造成影響。
2）氧分檢測的目的主要是為了避免管道內氧含量過高時，會發生化學反應，對制程造成影響。
3）顆粒檢測主要是檢測管道內微粒子的粒徑大小和數量多少。如果管道內微粒子過多會對產品良率影響很大。
廣州朗拓儀器設備有限公司成立于2012年，是一家專注于氣體應用科技的。公司業務涵蓋電子特氣系統、實驗室氣路系統、高純氣體及特殊工藝氣體二次配管系統、氫能源供氣系統、模塊化高壓儲氣供氣系統等，提供從技術咨詢、整體規劃、系統設計、選定設備、預制組件、項目現場安裝建設、整體系統檢測等全套工程技術服務和配套產品。公司旗下擁有LANTO?、BY-LOK?等行業品牌，自主研發及生產氣體半自動切換匯流排、氣體減壓器、管閥件、接頭；氣體混合配比儀；超高純供氣面板；特氣柜、VMB閥門箱；科研測試設備；超高壓、超低溫氣體系統；高真空系統；氣體取樣系統等產品，經實驗室檢測合格，廣泛應用于高校實驗室、科研檢測單位、半導體、微電子、生物制藥、醫療、光伏、LED、石油化工、電力、新材料、新能源等領域。
特氣管道五項測試氦檢漏保壓水份顆粒氧含量測試|LANTO朗拓實驗室高純氣路集中供氣系統 產品信息
關鍵詞：質譜儀
