DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機可鍍制不銹鋼,鉻,鎢等多種金屬,也可鍍制合金膜或化合物,也可在工件表面上鍍制單層或多層介質膜或金屬 ZrN TiCN TiAIN等硬質或裝飾涂層,具有鍍膜速度快,膜層質量好的優點。
◆ 真空室:鍍膜室尺寸900×900×1000mm3 ;箱式,前開門結構;
◆ 抽氣系統:機械泵:前級泵70L/S;維持泵:2×-8旋片泵;羅茨泵:ZJP-150;擴散泵:KT-500凸腔擴泵;分子泵:FF250/1600﹝選配﹞
◆ 極限真空:5×10-4Pa; 恢復真空:5×10-3Pa﹝小于20min﹞;
◆ 鍍膜系統:平面磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源;小弧源/柱弧源;
◆ 輔助鍍膜系統:脈沖偏壓電源。條形離子源﹝選配﹞。
◆ 膜厚測量系統:石英晶體膜厚監控系統﹝選配﹞。
◆ 進氣系統:自動壓強控制+多路質量流量控制系統;
◆ 操作方式:手動按鍵式;自動控型配置:研華工控機,80G硬盤,512內存+日本三菱PLC;15英寸液晶顯示觸摸屏界面;
◆ 旋轉夾具:公轉/自轉夾具,速度從0~15r/min 無級可調;
◆ 工作烘烤:室溫~300 ℃;
◆ 供電電源:三相380V,50HZ。
◆ 特殊規格可定制。
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