飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 是***的集成化成像分析系統(tǒng)。借助該系統(tǒng),既可觀察樣品的表面形貌,又可分析其元素組分。
研究樣品時,得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。借助***集成、特殊設計的能譜探測器,飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 可以完善解決上述所有問題。
能譜儀是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無論軟件、硬件都是集成設計在飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 系統(tǒng)中。
Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實現多點分析,檢測樣品的元素組分。此外,該軟件還可以擴展到元素分析線面掃(mapping)功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導出分析數據。
Phenom ProX 主要技術參數
光學放大20 - 135 X
電子放大*** 150,000 X
分辨率優(yōu)于 8 nm @ 10kV
數字放大Max 12 X
光學導航相機彩色
加速電壓5 Kv - 15 Kv 連續(xù)可調
真空模式
標準模式
降低荷電效應模式
探測器背散射電子探測器
樣品尺寸***直徑 32 mm
樣品高度*** 100 mm