H20-UVL真空紫外光譜儀是基于單個全息凹面像差校正光柵，其波長覆蓋100-600nm范圍的單色儀。 它是采用緊湊的設計理念，在真空紫外段光源波長測量或低分辨率測量時，標準配備一個單通道探測器。 多通道探測器的攝譜儀版本也可根據要求提供。
主要應用
?激發單色儀 (在熒光檢測中)
?遠紫外反射和吸收測量
?等離子體物理研究
H20-UVL是一款基于覆蓋波長范圍為100-600 nm (2 to 12.4 eV) far UV (FUV) 的特別設計的單色儀，其中在低于190nm以下工作時是基于真空環境；高于190nm使用是基于大氣環境。這種專業的設計在保證良好的光通量的基礎上可以有效地降低雜散光的干擾，特別是在常見的儀器在低于140nm時若采用C-T結構設計會造成信號損耗增加，數值孔徑變小的情況，而該款儀器通過優化光學入射角的方式，很好地保證了光通量的降低。在VUV波段采用短焦距真空單色儀作為分光器件是一種非常理想的選擇，在遠紫外低分辨光譜分析來說一般采用PMT或者Si探測器，但也可以采用光譜CCD或者MCP探測器。
技術參數
| 光學結構 | Spherical Type IV VLS single optic |
| 焦距長度 | 200 mm |
| 數字孔徑 | f/4.2 |
| 光柵密度 | 1200 gr/mm |
| 光學鍍膜 | MgF2 optimized at 121 nm |
| 光學入射角 | 64° |
| 線色散 | 3.6 nm/mm at 100 nm |
| 驅動方式 | Fast worm drive |
| 最小步距 | 0.06 nm |
| 掃描速度 | 400 nm/s |
| 光譜精度 | +/- 0.1 nm |
| 光譜重復性 | +/-0.06 nm |
| 光譜分辨率 | Better than 0.1 nm |
| 真空度 | 5 10-6 mbar |
| 法蘭接口 | DN63 LF |
| 入/出口 | Micrometric slits (10 um to 2 mm) |
| 入/出口法蘭 | DN25 KF |
| 通訊方式 | built-in USB2, no additional controller |
