在傳統的直拉法生產單晶材料時，生產設備存在自動化程度低，投料量少、設備功能單元布局不合理等一系列問題，從而導致單晶生產中人工勞動強度大、單位產能與品質低，成本高等一系列問題。隨著社會的進步，市場對新一代單晶生產設備轉向自動化程度高、投料量大、單位時間產能高、能耗低等方面。針對這些需求，爐壓自動控制技術、CCD非接觸測量技術、爐體恒溫控制技術的發展的進一步要求也是自動化；大爐體，高副室，旋板閥，水冷屏等的技術改進，是提高投料量與產能的必要方式。當投料量與產能達到一定程度時，副室的高度會進一步增加，因此坩堝托盤與提拉頭的動平衡問題會日漸突出，如何保證兩大低頻非規則運動部件的動平衡將會是一大挑戰。

NVT-HG型單晶爐可實現生長過程的全自動控制，爐壓全自動控制，采用CCD測量技術，此外還以其大裝爐量、高生產效率、低能量消耗，為客戶帶來額外利益。

應用領域

? 直拉法晶體提純

? 直拉法多晶生長

? 直拉法單晶生長

? 目前主要用于單晶硅棒的生產制造

適用工藝

爐壓自動控制、CCD非接觸測量、自動旋板閥、下排氣流線型管路等

產品優勢

• 單臺2噸以上的月產能，實現單晶硅棒量產。
• 合理的爐體布局，使得爐子能耗同比下降10%。
• 大尺寸的主室為大投料量留下了空間。
• CCD系統保障了晶體的自動引放與等徑，為以后升級預備了空間。
• 自動旋板閥的應用大大提高了副室的可應用長度，自動開旋大大減少了操作人員的勞動強度。
• 下排氣的流線型設計，為硅料頁面提供穩定的氬氣氛圍，大大提高液面與硅棒生產的穩定性。
• 在的漏水等情況發生時，爐蓋泄壓設計防止了爐體爆炸，將高壓泄 放。
• 自動爐壓系統快速調整爐壓，實現了爐體自動壓力恒壓，解決了人工調整爐壓的滯后性和準確性等問題。
• 工藝菜單為客戶提供了各類工藝設置儲存，客戶可以按照自主工藝自動生產晶體。
• 單機版數據工作站按每分鐘儲存一次的速率快速存儲數條關鍵數據，為 用戶實現工藝參數追溯。