描述
- 全自動操作,簡單易用,非常適用鎢燈絲、臺式掃描電鏡等
- 濺射電流自動調整——設定濺射電流后,系統自動調節真空度,從而達到設定的濺射電流,調整時間<5s,波動范圍<±5%;
無需按“實驗”鍵調整濺射電流、無需操作“進氣閥”。
- 濺射時間自動記憶——同類樣品一次設定即可;
- 參數改變自動調整——濺射過程中可以隨時調整濺射電流和濺射時長,系統自動計算疊加,無需終止濺射過程;
- 工作完成自動放氣;
- 樣品臺高度調節1秒完成;
- 濺射過程可以利用曲線顯示,清晰直觀。
- 軟硬件互鎖,防誤操作,安全可靠
- 真空度高于100Pa,啟動真空保護,無法濺射;
- 濺射電流高于50mA,停止濺射過程;
- 真空泵工作時,系統無法進行放氣操作;
- 鍍層均勻,導電性良好