全套價格：含電腦設備，專用工作臺，五環八區鏡頭
影像測量儀
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型號
| 行程（mm）
| 外部尺寸（mm） | 重量（kg）
| 承重（kg）
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CNC3020 | 200×300×180 | 480×780×900 | 180 | 25 |
測量精度
| XY軸* | Z軸 | ||
（3+L/200）µm | （5.0+L/200）µm | |||
*L表示測量長度，以毫米為單位
Z軸的機械精度，聚焦的精度與工件表面有很大關系
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速度
| XY軸 | Z軸 | ||
280mm/s | 100mm/s | |||
工作環境
| 溫度：20℃±2℃ 溫度變化 lt;2℃/hr 濕度：30～80% | |||
振動：＜0.002g，＜15Hz | ||||
電源：200~240Vac，50/60Hz，單相single-phase，700W | ||||
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