優勢
• 準確度采用設定點精度，產品精度可達±1.0% S.P.，響應時間≤ 0.5sec。
• CS300系列產品可帶有壓力補償功能，對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產品工作的穩定性和準確性。
• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線性。
• 產品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS300C產品金屬表面粗糙度更可達5RA以下，嚴格按照SEMI標準生產制造。
技術參數
| CS300 | ||||||||
| 型號 | CS310C | CS320C | CS310D | CS320D | ||||
| 閥類型 | 常開或常閉 | 無 | 常開或常閉 | 無 | 常開或常閉 | 無 | 常開或常閉 | 無 |
| 流量規格(N2) | (0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |||||||
| 準確度 |
| |||||||
| 線性 | ±0.5% F.S. | |||||||
| 重復精度 | ±0.2% F.S. | |||||||
| 響應時間 | ≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional） | |||||||
| 工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
| 溫度系數 | 零點：≤±0.02% F.S./℃；調節時：≤±0.05% F.S./℃ | |||||||
| 耐壓 | 3.5 MPa | |||||||
| 漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |||||||
| 密封材料 | 金屬密封 | |||||||
| 工作壓力 | 0.45MPa | |||||||
| 工作環境溫度 | （0～50）℃ | |||||||
| 輸入信號 | 數字：RS485 或 DeviceNet | 無 | 數字：RS485 或 DeviceNet | 無 | 數字：RS485 或 DeviceNet | 無 | 數字：RS485 或 DeviceNet | 無 |
| 輸出信號 | 數字：RS485 或 DeviceNet | |||||||
| 零漂 | 在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年 | |||||||
| 電源 | ±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極) | |||||||
| 表面化學成分 | Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃） | - | ||||||
| 表面粗糙度 | Ra 5μinch | |||||||
| 標準接頭形式 | VCR1/4陽接頭； | 1.5″B型密封接頭 | VCR1/4陽接頭； | 1.5″B型密封接頭 | ||||
| 電源接頭形式 | D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet接頭 | |||||||
| 重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg |
