掃描電子顯微鏡是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產生各種效應，其中主要是樣品的二次電子發射。 目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進行顯微組織形貌的觀察和微區成分分析。
產品特點
• 業內*的X射線幾何結構以及標配能譜儀和波譜儀（EDS & WDS）
• 五象限背散射電子探測器（BSE）為您提供更豐富的形態信息
• 可變電壓功能用于分析較少制備的非接觸式樣品
• 可移動的顯微鏡樣品臺用于觀察大型樣品
• 配備鎢光源和可供選擇的LaB6 光源
主要技術參數：
| 型號 |
| EVO 10 | EVO 15 | EVO 25 | |||
| 樣品室規格 |
| 310 mm*220mm （直徑*高度） | 365 mm* 275 mm （直徑*高度） | 420 mm* 330 mm （直徑*高度） | |||
| 電動載物臺行程XYZ | 載物臺可通過鼠標或可選的操縱桿和控制板調節 | 80 x 100 x 35 mm | 125 x 125 x 50 mm | 130 x 130 x 50 (或80) mm | |||
| 樣品高度 |
| 100 mm | 145 mm | 210 mm | |||
| 樣品直徑 |
| 230 mm | 250 mm | 300 mm | |||
| 未來可升級途徑 | 電子束襯管、擴展壓力、 水蒸氣可變壓力和氣體擴展壓力 | ||||||
| 圖像處理 | 32,000 × 24,000 像素；通過積分平均值法采集信號（掃描速度 2 或以上） | ||||||
| 系統控制 | 通過鼠標和鍵盤操作的 SmartSEM(3) 圖形用戶界面 | ||||||
| 通過 23" 觸摸屏、鼠標和可選硬件控制面板操作的 SmartSEM Touch(2) 圖形用戶界面 | |||||||
| 配有旋轉控制功能的硬件控制面板，用以在成像期間增強手動反饋和 實現更直觀的控制 | |||||||
| 易于使用的功能 – 自動飽和度、自動對齊、樣品選擇和自動成像 | |||||||
| Windows® 10 多國語言版 | |||||||
| 實用需求 | 100–240 V，50 或 60 Hz 單相， 無需水冷 | ||||||
| 描述 |
| 選擇 EVO 10（可選配BSD和EDS）是您想以一個非常實惠的價格購買掃描電子顯微鏡的切入點。即使這個EVO真空室很小，它也不同于臺式電鏡。您現在在 EVO的投資保證了您已經為將來需要更多空間和端口的應用做好了準備。 | EVO 15 充分展示了EVO 家族的靈活性概念， 并擅長于分析應用。選擇 EVO 15 更大的真空室， 并增加對不導電樣品或零件的成像和分析的可變壓力模式， 你將有一個多功能多用途的顯微鏡設備或者工業質量保證實驗室的解決方案。 | EVO25 是工業的主力解決方案， 它有足夠的空間以容納甚至更大的部件和組件。可選的 80 mm Z 軸行程載物臺可進一步擴展 EVO 25的功能， 它可以處理重量高達2公斤的樣品甚至傾斜。此外， 大的真空室將能夠容納多個分析檢測器以滿足苛刻的微量分析應用需求。 | |||
| 高真空模式 (HV) 導電樣品質量的成像與分析 | |||||||
| 可變壓力模式 (VP) 不導電且不噴涂導電層樣品的高質量成像和分析 | |||||||
| 擴展壓力模式 (EP) | |||||||
