真空閥門是指在真空系統(tǒng)中，用來改變氣流方向，調(diào)節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件。真空閥門關(guān)閉件是用橡膠密封圈或金屬密封圈來密封的。
波紋管截止閥的波紋管是用不銹鋼、高鋅黃銅JI80、塑料和其他材料制成。小通徑(口徑在10毫米以下)的截止閥關(guān)閉件可采用膜片密封。低真空和中真空可以采用球形旋塞閥。
作為通徑小于250毫米的閉路閥門，被廣泛采用的的閥桿作直線運動的真空波紋管截止閥。閘閥卻受到較大的限制，但這主要是對于大通徑來說的。可用的還有球 形旋塞閥(球閥)、柱塞閥和蝶閥。作真空閥用的旋塞閥未得到推廣，因為旋塞閥需要用油潤滑，使油汽可能進入真空系統(tǒng)，而這是不允許的。真空閥門既可用現(xiàn)場 手控和遙控，也可用電動、電磁傳動(電磁閥)、氣動和液動控制。
參數(shù)定義
公稱通徑：(nominal diameter)，又稱平均外徑(mean outside diameter)，表示符號DN，就是各種管子與管路附件的通用口徑。同一公稱直徑的管子與管路附件均能相互連接，具有互換性.它不是實際意義上的管道外徑或內(nèi)徑，雖然其數(shù)值跟管道內(nèi)徑較為接近或相等，為了使管子、管件連接尺寸統(tǒng)一，采用公稱直徑(也稱公稱口徑、公稱通徑)。例如焊接鋼管按厚度可分為薄壁鋼管、普通鋼管和加厚鋼管。其公稱直徑不是外徑，也不是內(nèi)徑，而是近似普通鋼管內(nèi)徑的一個名義尺寸。每一公稱直徑，對應(yīng)一個外徑，其內(nèi)徑數(shù)值隨厚度不同而不同。公稱直徑可用公制mm表示，也可用英制in表示。管路附件也用公稱直徑表示，意義同有縫管。
2.公稱壓力：(Nominal pressure)，表示符號PN，在一定溫度下應(yīng)用時允許的工作壓力。對碳鋼閥體的控制閥，指200℃以下應(yīng)用時允許的工作壓力;對鑄鐵閥體，指120℃以下應(yīng)用時允許的工作壓力;對不銹鋼閥體的控制閥，指250℃以下應(yīng)用時允許的工作壓力。當工作溫度升高時，閥體的耐壓會降低。例如，公稱壓力為6.4MPa(PN64)的碳鋼控制閥，用于300℃時的耐壓為5.2MPa，用400℃時的耐壓為4.1MPa，用于450℃時的耐壓為2.9MPa。因此，控制閥公稱壓力的確定不僅要根據(jù)工作壓力，還需根據(jù)工作溫度和材質(zhì)特性，而不僅僅只需滿足公稱壓力大于工作壓力。
作用
1.開關(guān)氣路，當閥1和閥4關(guān)閉，閥2打開時，機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空，氣流流經(jīng)預真空抽氣管路;當閥2關(guān)閉，閥4打開時，機械泵可單獨對擴散泵抽真空;當閥1和閥4同時打開時，擴散泵和機械泵可同時工作，對容器進行抽空，此時氣流流經(jīng)擴散泵。可見，閥門在這種操作中的作用是開關(guān)氣路，改變氣流的流經(jīng)路線。
2.控制氣流大小，調(diào)節(jié)真空度在圖1中，調(diào)節(jié)閥1的閥蓋開啟角度，即可調(diào)節(jié)流經(jīng)管路的氣流量大小;關(guān)閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣;通過放氣閥5可以調(diào)節(jié)容器內(nèi)的真空度。
3.定量充氣，在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞，當小洞轉(zhuǎn)向右邊和高壓氣瓶連通時，小洞中就可充滿高壓氣體;當它轉(zhuǎn)向左邊和真空容器連通時，就把該體積的高壓氣體放進容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。
真空閥門的種類繁多，通常按閥門的職能、結(jié)構(gòu)型式、驅(qū)動方式、材料和用途進行分類。
用途
電磁真空帶充氣閥與電磁真空壓差閥是專門用于防止機械真空泵返油的真空閥，安裝于機械真空泵的進氣口，并與泵同步開啟和關(guān)閉。一般不能用到其它地方，也就是說不能用于真空系統(tǒng)中作放氣之用。選用尼威電磁真空壓差閥的優(yōu)點是耗電量很小，節(jié)省能源;DN≤50的閥體材質(zhì)為鋁合金，重量輕，體積小，閥板關(guān)閉速度快。
擋板閥用在真空管道中角通和三通的地方。驅(qū)動方式為手、氣、電磁、電動由用戶決定。其中GDC-J型電磁高真空擋板閥為金屬波紋管密封，其應(yīng)用范圍較廣,也可當充氣閥用;安裝位置可任意,可反頂一個大氣壓,并有反饋信號輸出。
插板閥用在真空度要求高或管道尺寸要求高的場合。全通導、閥門漏率為10-7Pa.L/S，雙向密封。驅(qū)動方式手、氣、電動由用戶決定。氣動和電動均帶信號反饋裝置。
隔膜閥與球閥為直通式，并能用在正壓和真空并存的場合。驅(qū)動方式手、氣、電動由用戶決定。
蝶閥為直通形式，手、氣、電三種驅(qū)動方式由用戶決定。手動蝶閥開啟角度任意可調(diào);智能型的氣動和電動蝶閥其開啟角度也任意可調(diào)。
閥門的使用條件：
1.介質(zhì)為純凈空氣或非腐蝕性氣體。
2.介質(zhì)溫度由使用橡膠的溫度所決定。
