產品型號：SJ6000

• 產品名稱：SJ6000激光干涉儀

• 穩頻方式：雙頻激光熱穩頻

• 穩頻精度：0.05ppm

• 線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

• 線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）

• 角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

• 測量分辨力：1nm

• 動態采集頻率：50KHz

• 預熱時間：≤6分鐘

• 工作溫度范圍：（0-40）℃

• 環境溫度范圍：（0-40）℃，環境濕度：0-95%

• 主要特點：應用范圍廣、測量精度高、操作方便

SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

　　其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。

　　若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

◆精度高

　　SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。

● 可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

● 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

● 可實現龍門機床雙軸同步測量；

● 可實現對機床回轉軸的測量與校準；

● 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

● 具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

● 支持手動或自動進行環境補償。

● 友好的人機界面；

● 豐富的應用功能模塊；

● 向導式的操作流程；

● 簡潔化的記錄管理；

● 支持中文、英文和俄文界面；

● 支持企業專屬模板定制。

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