優勢
• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線性。
• CS200C產品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200C產品金屬表面粗糙度更可達10RA以下，CS200D產品金屬表面粗糙度可達25RA。
• CS200產品嚴格按照SEMI標準生產制造，尺寸符合國際通用的SEMI標準。
• CS200系列產品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數字，模擬輸入輸出。
• 產品支持RS485，DeviceNet通訊方式。
• 具有多氣體多量程功能、自動歸零功能、報警功能、軟啟動功能、延遲功能及功能強大的免費客戶端使用軟件。
技術參數
| CS200 | ||||||
| 型號 | CS200-A | CS200-C | CS200-D | |||
| 閥類型 | 常開(流量規格 ≤ 30SLM) | 無 | 常開或常閉 | 無 | 常開或常閉 | 無 |
| 流量規格(N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||||
| 準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |||||
| 線性 | ±0.5% F.S. | |||||
| 重復精度 | ±0.2% F.S. | |||||
| 響應時間 | ≤ 1sec | ≤ 0.8sec | ||||
| 工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa | ＜0.02 MPa |
| 工作壓力 | 0.45MPa | |||||
| 溫度系數 | 零點： ≤±0.05% F.S./℃； | 零點： ≤±0.02% F.S./℃； | ||||
| 耐壓強度 | 3MPa | |||||
| 漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | ||||
| 密封材料 | 氟橡膠 | 金屬密封 | ||||
| 工作環境溫度 | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| 輸入信號 | 數字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | 無 | 數字： RS485 | 無 | 數字： RS485 | 無 |
| 輸出信號 | 數字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | |||||
| 零漂 | 在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年 | |||||
| 電源 | ±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極) | |||||
| 表面化學成分 | 常態 | Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃） | 常態 | |||
| 表面粗糙度 | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
| 標準接頭形式 | 雙卡套 φ6；雙卡套 1/4´´；雙卡套 3/8´´；VCR1/4´´陽接頭；雙卡套φ3； | 雙卡套φ3；雙卡套φ6；雙卡套 1/4；VCR1/4 陽接頭； | ||||
| 電源接頭形式 | D 型 9 針陽接頭；D 型 15 針陽接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭 | |||||
| 重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1.2Kg | 1Kg |
