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KLA Candela 8400 / 8420 / 8720表面顆粒(缺陷)檢測設備

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱新耕(上海)貿易有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/10/31 14:53:41
  • 訪問次數284
產品標簽:

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  新耕(上海)貿易有限公司是一家為半導體、平面液晶顯示器、觸控面板等光電通訊行業供應設備與材料的代理商。我們提供給客戶泛的產品選擇,量測設備、清洗設備,分析儀器,我們所提供的設備、材料以及服務的范圍和質量都是無二的。

  新耕(上海)貿易有限公司一貫秉承,精益求精的宗旨,力求做到。我們始終以開放的溝通,優秀的售前和售后支持,和專業水平高發展和維持著與客戶長期穩定的良好合作關系??蛻舻恼J可是對新耕的獎賞。

  新耕的使命是矢志提供質的服務給所有客戶,持續成為設備及服務的首要供貨商。無論何種設備、技術咨詢、行業咨詢,新耕都有超過20年的專業經驗。如果您對我們設備由興趣,或有任何問題,請聯絡我們,我們將有專業人士為您提供協助。

KLA Candela 8400 / 8420 / 8720表面顆粒(缺陷)檢測設備
KLA Candela 8400 / 8420 / 8720表面顆粒(缺陷)檢測設備 產品信息
是致力于PECVD / ICPCVD(HDPCVD)的設備提供商, 產品涵蓋2”~ 8”主流PECVD / ICPCVD(HDPCVD)薄膜生長工藝,廣泛應用于三五族(GaAs / SiC )、GaN功率及射頻器件、VCSELs器件等化合物產業及MEMS和Si基半導體產業。

儀器簡介

◆配置:2”~8” 手動 / 半自動 / 全自動(片盒對片盒) / 全自動多腔(片盒對片盒)
◆領域 :三五族(GaAs / SiC),GaN功率及射頻器件、VCSELs的器件等化合物產業及MEMS和Si基半導體產業等
◆制程 : PECVD / ICPCVD(HDPCVD)

儀器特點

◆ Plasma-Therm公司有將近40年研發及制造PECVD相關設備的歷史
◆ Plasma-Therm設備具有高穩定性與高可靠度
◆ Plasma-Therm自有的軟硬件設計及完善QC系統
◆ Plasma-Therm設備配置靈活,包含手動、半自動、全自動(片盒對片盒)型號滿足實驗室研發及量產客戶需求
◆ Plasma-Therm設備在化合物半導體行業內高占有率:目前世界范圍內裝機數量超過2000臺
◆ Plasma-Therm PECVD / ICPCVD設備技術特性:
l 薄膜生長速率可調;
l 的應力控制方法(低損傷應力控制)
l 啟輝功率低至8W,采用plasma發出的輝光作為斷點監控系統的光源,薄膜厚度實時監控
l 的片內厚度均勻性 < 1.5%
l 的批次間厚度均勻性 < 1.5%
◆Plasma-Therm連續15年被VLSI評為10 Best設備供應商

應用領域

◆ 三五族(GaAs / SiC,GaN功率及射頻器件,InP器件等)
◆ MEMS微機電
◆ Si基半導體
◆ 石英基底的光通訊器件

關鍵詞:監控系統
15168338725
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