焦距

TR 555：3×500mm

TR 557：2×500mm+750mm

TR 777：3×750mm

DM-33i：2×300mm

DM-55i：2×500mm

DM-77i：2×750mm

光學系統

加法和減法雙C-T

具有高通量多光源系統的像差校正系統

雜散光抑制

10^-9或者更好

入口和出口狹縫的位置

180o標準的直射光學路徑。可選擇90o、或者是90o+180o光學路徑

數值孔徑

TR555: f/6.5

TR557: f/6.5

TR777: f/9.8

DM-33i: f/4

DM-55i: f/6.5

DM-77i: f/9.7

驅動步長

0.0025nm (nom. )

波長復現性

±0.025nm或者更好

狹縫組裝

標準：入口和出口狹縫可雙向調節，通過微米尺可在10µm到3mm之間調節。在兩個階段之間的狹縫可通過電腦在10µm—12mm之間調節，1µm的增量

選擇1：雙向入口和出口狹縫可調，電腦控制能在10µm 到3mm之間調節

選擇2：雙向入口和出口狹縫可調，電腦控制能在10µm到12mm之間調節