為了確保安全，需要臭氧尾氣分解破壞裝置來取走未溶解的臭氧氣體并將其轉化為氧氣，這可由臭氧催化破壞裝置來實現。尾氣破壞器一般放置于接觸池頂部，若采用氧化塔曝氣，則放置于地面即可。

臭氧和水接觸后，未溶解的臭氧氣體在每一個臭氧接觸室的出口被收集，由風機將臭氧尾氣從接觸池中抽出，通過尾氣除濕器去除水霧后進入臭氧破壞裝置。尾氣在破壞器入口處通過預加熱來防止其在催化器中發生冷凝。加熱溫度通過溫控器調節，溫控器的安全開關可在溫度過高時切斷電源。進入反應室后，臭氧分子在通過催化器時得以分解。隨后，尾氣被離心風機從催化床排出。

加熱-催化混合型尾氣分解器由以下元件組成：

a.催化反應槽，包括不銹鋼催化槽、不銹鋼網狀格板及支承柵板、催化劑等；控制柜含有一套顯示調節儀表，并可在終端安裝報警器用于遠程指示。

b.加熱器 ，包括：溫控器、不銹鋼外殼、加熱元件等；

c.離心風機：離心式，鋁質渦輪和葉片，單/三相電機；

d.控制柜：小型控制柜一般與分解器為一體化設計。

主要特點

a.安全：尾氣分解器使用目前較理想的觸媒劑，它不消耗臭氧，不會吸收臭氧，并且可以保證臭氧不會達到危險濃度。

b.低溫運行：運行溫度大約為40℃，這樣可以降低運行成本，相對于加熱分解型尾氣分解裝置，大約90%的運行費用是可以省去的。

c.較低的壓降：壓降不超過0.02MPa。

    d.出氣濃度不高于0.1ppm，可以直接排放至大氣。